[发明专利]高深宽比微细金属群柱结构的电化学加工方法及专用工具无效
| 申请号： | 200810022330.5 | 申请日： | 2008-07-09 |
| 公开（公告）号： | CN101327537A | 公开（公告）日： | 2008-12-24 |
| 发明（设计）人： | 胡洋洋;朱荻;曲宁松 | 申请（专利权）人： | 南京航空航天大学 |
| 主分类号： | B23H9/00 | 分类号： | B23H9/00;B23H3/00;B23H3/04 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 | 代理人： | 魏学成 |
| 地址： | 210016*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种高深宽比微细金属群柱结构的电化学加工方法及专用工具，属高深宽比金属微结构制造工艺方法及装置技术领域。该方法是利用金属网板作为专用工具，在工控机的控制下，使专用工具和工件阳极做相向运动进行电解加工，其特征在于：所述的作为专用工具的金属网板，其群孔的侧壁和网板背面均沉积有绝缘层，以屏蔽金属网板的群孔侧壁、背面与新生成群柱表面的电场，保护新生成的群柱结构不被蚀除。利用本发明，可以高效、低成本的制造出深宽比不受限制(理论上)的微细金属群柱结构。 | ||
| 搜索关键词： | 高深 微细 金属 结构 电化学 加工 方法 专用工具 | ||
【主权项】：
1、一种高深宽比微细金属群柱结构的电化学加工方法，利用金属网板作为专用工具，通过工控机的控制，使专用工具和工件阳极做相向运动进行电解加工，其特征在于：所述的作为专用工具的金属网板，其群孔侧壁和网板背面均沉积有绝缘层；利用该绝缘层屏蔽金属网板的群孔侧壁、背面与新生成群柱之间的电场，保护新生成群柱结构不被蚀除。
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