[发明专利]SiC合成炉气体收集系统及气体收集方法有效
| 申请号： | 200810017967.5 | 申请日： | 2008-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN101251339A | 公开（公告）日： | 2008-08-27 |
| 发明（设计）人： | 王晓刚 | 申请（专利权）人： | 陕西西科博尔科技有限责任公司 |
| 主分类号： | F27D17/00 | 分类号： | F27D17/00;C01B31/36 |
| 代理公司： | 西安创知专利事务所 | 代理人： | 李子安 |
| 地址： | 710054陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种SiC合成炉气体收集系统及气体收集方法，所述气体收集系统包括放置在SiC合成炉之上的用于气体收集的收集装置，用于移动收集装置的离合行走机构，设置在收集装置上的检测分析装置和均衡泄压装置，设置在SiC合成炉炉体四周与收集装置接触形成封闭空间的密封连接装置，密封连接装置和/或收集装置上设置有气体出口。SiC合成炉气体收集方法包括以下步骤：原料混合，装炉；收集装置到位，密封；空气置换；生产碳化硅；CO气体收集；停电冷却；延时收集气体；炉气置换；收集装置移出。采用该系统和方法有利于SiC合成炉气体的持续稳定回收，该系统占用空间小，对生产场地要求较低，可同时满足露天和室内生产要求。 | ||
| 搜索关键词： | sic 合成 气体 收集 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种SiC合成炉气体收集系统，其特征在于：所述气体收集系统包括放置在SiC合成炉之上的用于气体收集的收集装置，设置在SiC合成炉两端的用于移动收集装置的离合行走机构，设置在收集装置上的检测分析装置和均衡泄压装置，设置在SiC合成炉炉体四周与收集装置接触形成封闭空间的密封连接装置，密封连接装置和/或收集装置上设置有气体出口。
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