[发明专利]浆料图案形成方法和用于该方法中的转印薄膜无效
| 申请号： | 200780042812.0 | 申请日： | 2007-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN101573775A | 公开（公告）日： | 2009-11-04 |
| 发明（设计）人： | 秋元英树 | 申请（专利权）人： | E.I.内穆尔杜邦公司 |
| 主分类号： | H01J9/02 | 分类号： | H01J9/02;H01J9/24;H01J17/49;G02F1/00;H01L31/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 朱黎明 |
| 地址： | 美国特*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明公开了一种浆料图案形成方法，所述方法包括以下步骤：在薄膜基体材料(302)上形成转印图案材料(304)以制备转印薄膜；将转印薄膜粘附到在其上形成转印图案的基底(308)上，以使转印图案材料接触所述基底；将薄膜基体材料(302)与所述转印图案材料分离；在转印图案凹陷内填入浆料(310)；将所述浆料固化；并且移除转印图案材料(304)。 | ||
| 搜索关键词： | 浆料 图案 形成 方法 用于 中的 薄膜 | ||
【主权项】：
1.一种浆料图案形成方法，所述方法包括以下步骤：在薄膜基体材料上施加转印图案，从而形成转印薄膜，其中所述转印图案包括转印图案材料和转印图案凹陷；将所述转印薄膜转印到基底上，以使所述转印图案材料接触所述基底；将所述薄膜基体材料与所述转印图案材料分离；将浆料施加到所述转印图案凹陷内，从而形成浆料图案；固化所述浆料；以及移除所述转印图案材料。
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