[实用新型]一种基于MEMS的智能服装

摘要

本实用新型公开了一种基于MEMS的智能服装，可用于采集心电、心音等人体生理参数，该智能服装的功能是通过将柔性传感器阵列薄膜与纺织品整合的方式来实现的：首先，在晶圆上采用MEMS技术分别制作出声/电换能器及其电气互联结构。其次，在晶圆的反面刻蚀出硅岛图形，使得每个传感器之间相互孤立。再次，在晶圆的正反面旋涂上聚合物，并对其进行光刻图形化出传感器窗口以及缝纫孔，即得到柔性传感器阵列薄膜。聚合物起到对传感器的保护作用，缝纫孔可用于让导电纤维将传感器传感器阵列薄膜与纺织品缝合于一体，即得到有特定功能的智能服装。本实用新型采用MEMS制作工艺，重复性好，可靠性高，可大批量制造，成本较低，具有广泛的应用前景。

主权项

1.一种基于MEMS的智能服装，其特征在于：该智能服装上设置有柔性传感器阵列，该柔性传感器阵列包括柔性衬底(1)、若干个硅岛(2)和声/电换能器(3)，柔性衬底(1)分为上柔性衬底(1a)和下柔性衬底(1b)，硅岛(2)和声/电换能器(3)呈阵列式分布设置在柔性衬底(1a)和下柔性衬底(1b)之间，硅岛(2)与声/电换能器(3)通过金属线路(5)实现电气互联，各硅岛(2)和声/电换能器(3)的四周均设置有缝纫孔(4)，导电纤维(6)穿过缝纫孔(4)将柔性传感器阵列薄膜与纺织品(8)缝合于一体；硅岛(2)的结构为：硅基底(19)上开有焊盘(9)，焊盘(9)的引出线与金属线路(5)的一端相连，导电纤维(6)与焊盘(9)之间点胶有导电胶(7)；声/电换能器(3)的结构为：硅基底(18)上开有空腔(10)，空腔(10)上面设置有悬臂梁(11)，悬臂梁(11)由下述薄膜层依次叠置构成：支撑层(12)、粘结材料层(13)、下电极(14)、声/电换能材料层(15)、吸声材料层(16)和上电极(17)，其中，下电极(14)和上电极(17)构成金属线路(5)。