[实用新型]平衡减振精密定位装置

摘要

本实用新型的平衡减振精密定位装置，主要由沿基台上下两侧对称设置的硅片台运动装置和反向平衡运动装置组成。硅片台运动装置设有硅片承载台及与硅片承载台相连接的第一受控运动单元，其能根据预先规划的运行行程使硅片承载台产生相应方向位移。反向平衡运动装置包含与承载台(包括被承载物体)的质量特性完全相同的模拟件，与该模拟件相连接且与第一受控运动单元相似的第二受控运动单元，以及镶嵌在基台内的动量轮运动单元。第一和第二受控运动单元分别在第一和第二控制单元的控制下做完全反相的运动，动量轮系统在第二控制单元的控制下完成力矩平衡运动。由此可实现系统力和力矩的精密平衡，降低了系统减振的难度，提高了系统的定位精度。

主权项

1、一种平衡减振精密定位装置，其特征在于，包括：承载基板；基台：固定在所述承载基板上，且与所述承载基板之间具有容置空间；硅片台运动装置：固定在所述基台的上侧，设有硅片承载台及与所述硅片承载台相连接且能根据预先规划的运行行程使所述硅片承载台产生相应方向位移的第一受控运动单元；反向平衡运动装置：包括与承载台及其被承载物体的质量特性完全相同的模拟件，与该模拟件相连接且与第一受控运动单元相似的第二受控运动单元，以及镶嵌在基台内的动量轮运动单元，其中，所述模拟件被夹持在所述承载基板及所述基台之间；第一控制单元，用于提供预先规划的运行行程以控制所述第一受控运动单元；以及第二控制单元，用于向第一控制单元提供运动控制功能，并同时控制第二受控运动单元和动量轮运动单元。