[发明专利]用定量气体法测量正压漏孔全漏率的方法

摘要

本发明公开了用定量气体法测量正压漏孔全漏率的方法，其特点在于：将被测正压漏孔装入累积室，将累积室抽真空后向其充入一定压力的出口气体，经过Δt时间后，打开累积室阀门，在气体膨胀衰减压力后，引入质谱室测得示漏气体的离子流为I_L，再把压力为Ps的示漏气体用已知小容积V₁配置成Ps×V₁的定量气体，并与累积室配置好的出口气体混合后，测得示漏气体的离子流为I_V，最后向累积室配好的出口气体，引入质谱室测得其离子流为I_A，则被测正压漏孔的全漏率为：Q＝(P_S·V₁/Δt)·(I_l-I_A/I_V-I_A)。本发明是测量正压漏孔全漏率的方法。该方法被应用于正压漏孔全漏率的测量和校准领域。

主权项

1、用定量气体法测量正压漏孔全漏率的方法，测量组件包括累积室1，被测正压漏孔2，真空阀门3、5、11、12、15、16、18、20、21，微调阀7，真空计4，膨胀室6，质谱室8，质谱计9，小体积10，气瓶13、14，真空泵17、19；其特征在于包括下列测量步骤：步骤1：将正压漏孔2装入累积室1中；步骤2：用真空泵17、19对累积室1、膨胀室6、质谱室8、及连接管道抽真空；步骤3：向累积室1中充入压力为p的气体，出口压力的变化不超过5％，关闭累积室的阀门3；步骤4：正压漏孔累积Δt时间后，保持环境温度为(23±3)℃，打开累积室阀门3，对气体进行压力衰减，然后引入质谱室8，用质谱计9测出示漏气体的离子流IL；步骤5：将累积室1、膨胀室6及管道抽真空后，使其真空度小于0.5Pa，向累积室1充入压力p的出口气体，出口压力的变化不超过5％，关闭累积室阀门3，对其它管道和膨胀室6抽真空后，使其真空度小于0.5Pa，通过小体积V1取压力为Ps的示漏气体，使标准配置示漏气体和出口气体混合后，经过膨胀引入质谱室8，测得示漏气体的离子流为Iv；步骤6：将累积室1、膨胀室6及管道抽真空后，使其真空度小于0.5Pa，向累积室1充入压力为p的气体，关闭累积室阀门3，对管道和膨胀室6抽真空后，使其真空度小于0.5Pa，将累积室1中气体膨胀后引入质谱室8，测得示漏气体的本底离子流为IA；步骤7：正压漏孔2的全漏率为：所述步骤5、6中取多次离子流的平均值作为离子流的测量结果；所述步骤7中正压漏孔的全漏率通过多次测量的平均值表示。