[发明专利]一种控制工艺终点的方法及装置无效
| 申请号： | 200710175747.0 | 申请日： | 2007-10-11 |
| 公开（公告）号： | CN101408753A | 公开（公告）日： | 2009-04-15 |
| 发明（设计）人： | 南建辉;宋巧丽 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | G05B19/04 | 分类号： | G05B19/04;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 | 代理人： | 张天舒;陈 源 |
| 地址： | 100016北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种控制工艺终点的方法，所述工艺在反应腔室内进行，所述反应腔室配置有检测单元。所述方法包括下述步骤：由所述检测单元检测与所述反应腔室内的压力相关的表征参量；根据所述表征参量确定所述工艺是否到达终点。本发明还提供了一种控制工艺终点的装置，该装置包括：检测单元，用于检测与所述反应腔室内的压力相关的表征参量；控制和处理单元，根据所述表征参量确定所述工艺是否到达终点。本发明提供的控制工艺终点的方法及装置能够较为准确地确定工艺终点，防止出现过度加工/处理现象，以保证被加工器件的加工质量，并防止加工/处理设备自身遭受损坏，同时能够提高整个系统的产出率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 控制 工艺 终点 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种控制工艺终点的方法，所述工艺在反应腔室内进行，所述反应腔室配置有检测单元，其特征在于，所述方法包括下述步骤：A.由所述检测单元检测与所述反应腔室内的压力相关的表征参量；B.根据所述表征参量确定所述工艺是否到达终点。
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