[发明专利]对位平台的旋转参数获取方法无效
| 申请号： | 200710074343.2 | 申请日： | 2007-05-09 |
| 公开（公告）号： | CN101303230A | 公开（公告）日： | 2008-11-12 |
| 发明（设计）人： | 何享真;林锦辉 | 申请（专利权）人： | 富士迈半导体精密工业（上海）有限公司;沛鑫半导体工业股份有限公司 |
| 主分类号： | G01C11/00 | 分类号： | G01C11/00;G01B21/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201600上海市松江区*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种对位平台的旋转参数获取方法，包括步骤：将其上设置有第一及第二对位记号的工件装载在对位平台上；获取第一及第二对位记号的初始坐标值；驱动对位平台运动n次使第一及第二对位记号相对于其初始位置以任意角度转动n次；获取第一及第二对位记号的坐标值(Xai，Yai)及(Xbi，Ybi)，以及其旋转半径Rai，Rbi，1≤i≤n；获取以(Xai，Yai)及(Xbi，Ybi)为圆心对应的Rai及Rbi为半径的两圆的一交点坐标值(Xi，Yi)；对获取的坐标值(Xi，Yi)进行数值统计以剔除标准差之外的坐标值；利用未被剔除的坐标值计算出第一及/或第二对位记号的旋转半径和初始旋转角；以及分别平均所述计算出的旋转半径和初始旋转角的取值，进而获取所述对位平台对应第一及/或第二对位记号的旋转参数。 | ||
| 搜索关键词： | 对位 平台 旋转 参数 获取 方法 | ||
【主权项】：
1.一种对位平台的旋转参数获取方法，其包括步骤：将工件装载在对位平台上，该工件上设置有第一对位记号及第二对位记号；获取第一对位记号及第二对位记号的初始坐标值；驱动所述对位平台运动n次使所述工件上的第一对位记号及第二对位记号相对于其初始位置以任意角度转动n次，n为大于1的自然数；获取每次转动后的第一对位记号及第二对位记号的坐标值(X1i，Y1i)及(X2i，Y2i)，以及第一对位记号及第二对位记号的旋转半径R1i，R2i，其中，1≤i≤n；获取以(X1i，Y1i)及(X2i，Y2i)为圆心，对应的R1i及R2i为半径的两圆的一交点的坐标值(Xi，Yi)，该坐标值(Xi，Yi)为所述对位平台的旋转中心的坐标值；对获取的旋转中心的坐标值(Xi，Yi)进行数值统计以剔除标准差之外的坐标值；利用未被剔除的旋转中心的坐标值计算出对应第一对位记号及/或第二对位记号的旋转半径和初始旋转角的取值；以及分别平均所述计算出的旋转半径和初始旋转角的取值，进而获取所述对位平台对应第一对位记号及/或第二对位记号的旋转参数。
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