[发明专利]硅片传输设备的控制系统及方法有效
| 申请号： | 200710062729.1 | 申请日： | 2007-01-15 |
| 公开（公告）号： | CN101226390A | 公开（公告）日： | 2008-07-23 |
| 发明（设计）人： | 王宝全;刘远 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | G05B19/418 | 分类号： | G05B19/418;H01L21/00;H01L21/677;H04L29/06 |
| 代理公司： | 北京凯特来知识产权代理有限公司 | 代理人： | 赵镇勇;任红 |
| 地址： | 100016北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种硅片传输设备的控制系统及方法，包括PLC，上层控制单元与PLC之间设有中间影射单元，PLC通过中间影射单元与上层控制单元之间交互信息，对硅片传输设备由PLC直接进行控制，不需要上层软件的参与，也不占用上层软件的资源，完全独立运行，这样使得对硅片传输设备的操作速度快、控制简单、可靠、自动化程度高。尤其适用于对半导体硅片加工设备的传输装置的控制。 | ||
| 搜索关键词： | 硅片 传输 设备 控制系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种硅片传输设备的控制系统，包括上层控制单元，用于对硅片传输设备进行控制，其特征在于，还包括可编程控制器PLC，所述的上层控制单元通过PLC对硅片传输设备进行控制，所述的上层控制单元与PLC之间设有中间影射单元，所述PLC通过中间影射单元与上层控制单元之间交互信息。
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