[发明专利]基于单质量块的单轴集成惯性测量器件无效

专利信息
申请号: 200710061740.6 申请日: 2007-04-21
公开(公告)号: CN101038299A 公开(公告)日: 2007-09-19
发明(设计)人: 刘俊;石云波;张文栋;马宗敏;崔永俊;薛晨阳;杨玉华 申请(专利权)人: 中北大学
主分类号: G01P15/125 分类号: G01P15/125;G01P15/14
代理公司: 山西太原科卫专利事务所 代理人: 朱源
地址: 030051山*** 国省代码: 山西;14
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摘要: 发明涉及微机械电子技术,具体是一种基于单质量块的单轴集成惯性测量器件。解决了现有单轴微惯性测量组合存在结构相对复杂、体积和质量相对较大等问题,包括质量块、玻璃盖底,质量块通过支撑梁支悬于玻璃盖底上方,质量块由质量芯块、和通过弹性梁分别与质量芯块四边相固定的四块支撑体构成,Y向相对的支撑体外侧固定有检测活动梳齿,X向相对的支撑体外侧固定有驱动活动梳齿,检测固定梳齿和驱动固定梳齿固定于玻璃盖底上,质量芯块的下端面与玻璃盖底上对应地固定有构成电容的电极。本发明结构合理,易于加工,具有可靠性高、体积小、抗干扰能力强、精度高、检测向量平行和正交精度高等显著特点。
搜索关键词: 基于 单质 量块 集成 惯性 测量 器件
【主权项】:
1、一种基于单质量块的单轴集成惯性测量器件,包括质量块、玻璃盖底(1),质量块通过支撑梁(2)支悬于玻璃盖底(1)上方,其特征在于质量块由质量芯块(3)、和通过弹性梁(5)分别与质量芯块(3)四边相固定的四块支撑体(4)构成,Y向相对的支撑体(4)外侧固定有检测活动梳齿(6),X向相对的支撑体外侧固定有驱动活动梳齿(8),与检测活动梳齿(6)、驱动活动梳齿(8)配合的检测固定梳齿(7)和驱动固定梳齿(9)固定于玻璃盖底(1)上,质量芯块(3)的下端面与玻璃盖底(1)上对应地固定有构成平板电容的电极(10)。
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