[发明专利]光阻回收系统无效
| 申请号： | 200710042408.5 | 申请日： | 2007-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN101329512A | 公开（公告）日： | 2008-12-24 |
| 发明（设计）人： | 卢健;张建峰 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16;G03F7/26 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 王洁 |
| 地址： | 2012*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种光阻回收系统。现有的光阻供应系统存在光阻浪费、没有充分利用的问题。本发明的光阻回收系统，包括一个存储容器，用于存储光阻；一个中间箱，用于从存储光阻容器接收光阻，并具有一个从中间箱排放光阻的排放管；一个过滤器，用于从中间箱接收光阻，并具有一个从过滤器排出的排放管；其中该光阻回收系统还包括一个回收容器，它连接在过滤器、中间箱的排放管与存储容器之间，用于使过滤器排出的光阻回流至存储容器中。采用本发明的光阻回收系统，可以回收利用光阻，提高光阻的利用率。 | ||
| 搜索关键词： | 回收 系统 | ||
【主权项】：
1、一种光阻回收系统，包括：一个存储容器，用于存储光阻；一个过滤器，用于从存储容器接收光阻，并具有一个从过滤器排出的排放管；其特征在于：光阻回收系统还包括一个回收容器，它连接在过滤器的排放管与存储容器之间，用于使过滤器排出的光阻回流至存储容器中。
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