[发明专利]检测数据中异常点的去除方法

摘要

本发明公开了一种检测数据中异常点的去除方法，包括步骤：提供至少五个检测数据；设定置信度及预计异常点数目；根据预计异常点数目计算偏离值；根据检测数据数目、置信度及预计异常点数目确定临界值；比较所述偏离值与所述临界值；根据比较结果确定实际异常点数目；根据实际异常点数目去除检测数据中的异常点数据。采用本发明的异常点的去除方法对检测数据进行异常点去除，可以提高异常点去除的准确性，并得到更准确的数据拟合结果，提高了半导体工艺监测的有效性。

主权项

1、一种检测数据中异常点的去除方法，其特征在于，包括步骤：提供至少五个检测数据；设定置信度及预计异常点数目，且所述预计异常点数目大于或等于2；计算所述检测数据的平均值，得到第一平均值；计算每一个所述检测数据与所述第一平均值的差值，并平方相加得到第一平方和；根据预计异常点数目将所述检测数据分为预计异常点数据和非预计异常点数据；计算所述非预计异常点数据的平均值，得到第二平均值；计算每一个所述非预计异常点数据与所述第二平均值的差值，并平方相加得到第二平方和；计算所述第二平方和与所述第一平方和的比值，得到偏离值；根据所述检测数据的数目、置信度及预计异常点数目确定临界值；比较所述偏离值与所述临界值；根据所述比较结果确定实际异常点数目；根据所述实际异常点数目去除所述检测数据中的异常点数据。