[发明专利]固定载体、固定载体的制造方法、固定载体的使用方法、以及基板收纳容器

摘要

提供一种能够适合于输送容易翘曲、容易破裂的被搭载物品的固定载体、固定载体的制造方法、固定载体的使用方法、以及基板收纳容器。具备：凹陷形成在具有刚性的基材(2)的表面上且被保持半导体晶片(W)的保持层(8)层叠覆盖的划分空间(3)、与该划分空间(3)并列地设置而接触支撑保持层(8)的多个突起(4)、和在基材(2)上穿孔而将被保持层(8)覆盖的划分空间(3)的空气向外部导引的排气通路(6)。由于不是将容易翘曲、容易破裂的半导体晶片(W)直接收纳在基板收纳容器的容器主体中，而是在被固定载体(1)的保持层(8)保持的状态下收纳，所以能够安全且适当地输送到工厂。

主权项

1.一种固定载体，在基材上重叠设置有拆装自如地保持被搭载物品的能够变形的保持层，包括形成在基材上而被保持层覆盖的划分空间、设在该划分空间中而接触并支撑保持层的突起、和设在基材上而将被保持层覆盖的划分空间的气体向外部导引的排气通路。