[发明专利]移动装置

摘要

本发明公开了一种特别是用于半导体工业的移动装置(701)，该装置包括第一部分，该第一部分包括承载体(714)，磁体系统(710)按照分别平行于X方向和Y方向延伸的行和列的模式布置在承载体(714)上。每行和每列上的磁体按照海尔贝克阵列布置，即在每行和每列上的相继的磁体的磁性取向逆时针旋转90°。第二部分包括具有两种类型电线圈的电线圈系统(712)，一种类型电线圈与X方向成+45°的角，另一种类型电线圈与X方向成－45°的角。第一部分(714，710)可相对于静止的第二部分(712)在厘米或更大的范围上运动。为了高精度地定位所述第一部分，设有干涉仪系统(731，730)。

主权项

1.一种移动装置，包括至少在X方向和相垂直的Y方向上可以相对彼此移动的第一部分(1)和第二部分(2)，所述第一部分包括沿基本上平行于X方向和Y方向延伸的承载体(5)，且磁体系统(3)以平行于X方向延伸的行(7)、和平行于Y方向延伸的列(8)的模式固定在所述承载体上，在所述行之间和在所述列之间具有相等的距离，第一类型磁体(N)具有与承载体(5)成直角且朝向所述第二部分(2)延伸的磁化方向，第二类型磁体(Z)具有与承载体(5)成直角且远离所述第二部分(2)延伸的磁化方向，这两种类型磁体在每行(7)和每列(8)上交替布置，第三类型磁体(H)在每对毗邻的第一类型磁体(N)和第二类型磁体(Z)之间布置在每列(8)上，所述第三类型磁体具有平行于Y方向且朝向第一类型磁体(N)延伸的磁化方向，而所述第二部分(2)设有电线圈系统(4)，所述电线圈系统包括至少一个第一类型电线圈(C1)和至少一个第二类型电线圈(C2)，所述第一类型电线圈具有位于所述磁体系统的磁场内且与X方向成大致45°的角的导电体(9)，所述第二类型电线圈具有也位于所述磁体系统的磁场内且与X方向成大致45°的角的导电体(10)，且所述导电体垂直于第一类型电线圈(C1)的导电体(9)延伸，其中，在第一部分(1)的磁体的每行(7)上，第三类型磁体(H)也布置在每对毗邻的第一类型磁体(N)和第二类型磁体(Z)之间，所述第三类型磁体具有平行于X方向且朝向第一类型磁体延伸的磁化方向，其特征在于：第二部分(2)是静止的，第一部分(1)可相对于第二部分(2)在厘米或更大范围上运动；其还包括用于准确定位可动的第一部分(1)的干涉仪系统(730，731，832，833)。