[实用新型]一种可以转出的带有记忆功能的六自由度精密调节装置无效
| 申请号： | 200620041223.3 | 申请日： | 2006-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN2884264Y | 公开（公告）日： | 2007-03-28 |
| 发明（设计）人： | 唐海明;朱岳彬;严天宏 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 王洁 |
| 地址： | 200092上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种六自由度精密调节装置，具体公开了一种可以转出的带有记忆功能的六自由度精密调节装置，包括支架、托架和六自由度调节机构，所述六自由度调节机构通过托架与支架固定连接，还包括转出机构；转出机构固定在支架上，其与六自由度调节机构的调节盘转轴连接。本实用新型可以手动转出、并且带有位置“记忆”功能、可以实现对六自由度的独立调节。在实际使用中只需提供相应接口和空间就可安装。相对于其它的调节装置，其调节过程简单准确、快速高效，具有良好的检修性，维护方便。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 可以 转出 带有 记忆 功能 自由度 精密 调节 装置 | ||
【主权项】：
1.一种可以转出的带有记忆功能的六自由度精密调节装置，包括支架(1)、托架(3)和六自由度调节机构，所述六自由度调节机构通过托架(3)与支架(1)固定连接，其特征在于，还包括转出机构；所述六自由度调节机构包括：与托架连接的大螺钉(2)、3根顶针(4)和设置在托架下方的上法兰圈(5)、下法兰(6)、XY向调节座(7)、调节板(20)、调节盘(24)；上法兰圈(5)固定设置在下法兰(6)上，其上表面设有v型槽、所述顶针的头部嵌入v型槽内；所述大螺钉(2)的下端拧紧在下法兰上；下法兰(6)固定设置在XY向调节座(7)上；XY向调节座(7)可调节的固定设置在调节板(20)上；调节板(20)可调节的固定设置的调节盘(24)上；所述转出机构固定在支架(1)上，其与六自由度调节机构的调节盘(24)转轴连接。
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