[发明专利]介电薄膜BaTiO3掺杂金属离子的制备方法及装置无效
| 申请号： | 200610155879.2 | 申请日： | 2006-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN101016643A | 公开（公告）日： | 2007-08-15 |
| 发明（设计）人： | 高玉周;张会臣;王亮;许晓磊;于志伟;刘世永 | 申请（专利权）人： | 大连海事大学 |
| 主分类号： | C25D11/26 | 分类号： | C25D11/26 |
| 代理公司： | 大连八方知识产权代理有限公司 | 代理人： | 卫茂才 |
| 地址： | 116026辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明属于电子工程技术领域，是一种介电薄膜BaTiO3掺杂金属离子的制备方法及装置。方法是用碱性介质Ba(OH)2电解质溶液，同时添加含量为5～15g/L含有WO42－，Mo7O242－、SnO32－酸根离子的盐，进行微等离子体氧化处理，在阳极表面形成(Ba，Ca)TiO3、(Ba，W)TiO3、(Ba，Sn)TiO3膜层。设备由脉冲电源、负极、正极、电解液、阳极电极、阴极电极、氧化处理槽组成，本发明的有益效果是，该方法及装置简单，直接在钛金属表面生长一层膜较厚的薄膜与基体的结合力良好，实现技术离子的掺杂，形成(Ba，X)TiO3薄膜，改变BaTiO3薄膜的介电性能，有良好的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 batio sub 掺杂 金属 离子 制备 方法 装置 | ||
【主权项】：
1、介电薄膜BaTiO3掺杂金属离子的制备方法，其特征在于，该方法的步骤是：(一)、配制电解质溶液：电解质溶液配制方法：在微等离子体氧化处理槽(9)内配制电解质溶液(4)，电解质溶液(4)采用碱性介质，为Ba(OH)2，调节pH值在7.5～9.0之间；(二)、微等离子体氧化处理：搅拌器(7)以搅拌速度120-150转/分搅拌电解质溶液(4)，反应5-10分钟，向阳极(5)上施加电压500～600V直流脉冲，阳极(5)表面形成微等离子体放电，放电时间为10～20min，阳极(5)表面形成氧化膜层，阳极(5)材料选用Ti。
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