[发明专利]激光束曝光装置及其方法有效
| 申请号： | 200610143734.0 | 申请日： | 2006-11-03 |
| 公开（公告）号： | CN1959536A | 公开（公告）日： | 2007-05-09 |
| 发明（设计）人： | 剑持晴康;佐藤博明;池田泰人;森昌人 | 申请（专利权）人： | 株式会社ORC制作所 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/027;G03B17/48 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 党晓林 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种激光束曝光装置及其方法，该装置及方法不会使得识别标记变形，而且在多个激光照射单元中光路长度相同。激光束曝光装置(5)包括：光路长度调节单元(6)，其对从激光束光源(5a)至基板的激光束的光路长度进行调节；和多个激光照射单元(7)，其在基板的移动路径上设于基板的上方，并向基板照射由光路长度调节单元调节了光路长度的激光束。 | ||
| 搜索关键词： | 激光束 曝光 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
1.一种激光束曝光装置，该装置使基板沿移动路径移动，并对在该基板的图案区域的周围形成的周边区域照射激光束以曝光识别标记，所述激光束曝光装置的特征在于，该装置具有：光路长度调节单元，所述光路长度调节单元调节从激光束光源至所述基板的激光束的光路长度；和多个激光照射单元，所述激光照射单元在所述基板的移动路径上设于所述基板的上方，并向基板照射由光路长度调节单元调节了光路长度的激光束。
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