[发明专利]一种TFT LCD阵列基板及制造方法

摘要

本发明涉及一种TFT LCD阵列基板，包括玻璃基板，形成于玻璃基板上的栅线和栅电极，形成于栅电极上的绝缘介质层、半导体层和欧姆接触层，透明像素电极，源漏电极及数据线，钝化层，所述数据线呈分段式结构，分为数据线主要部分和数据线连接部分，数据线主要部分为位于相邻的栅线之间的数据线部分；数据线连接部分为跨过栅线连接相邻的数据线主要部分的数据线部分。还涉及该基板的制造方法，基板的数据线的主要部分与栅极线和栅极电极在同一光刻下形成，数据线的主要部分采用栅电极层金属，通过过孔在源漏电极掩膜光刻进行连接，这种方法跟通常的5Mask工艺相比，能有效减小数据线电阻，减轻或消除数据信号RC延迟带来的不利影响。

主权项

1.一种TFT LCD阵列基板，包括玻璃基板，形成于玻璃基板上的栅线和栅电极，形成于栅电极上的绝缘介质层、半导体层和欧姆接触层，透明像素电极，源漏电极及数据线，钝化层，其特征在于，所述数据线呈分段式结构，分为数据线主要部分和数据线连接部分，数据线主要部分为位于相邻的栅线之间的数据线部分；数据线连接部分为跨过栅线连接相邻的数据线主要部分的数据线部分。