[发明专利]蒸镀装置无效
| 申请号： | 200610033200.2 | 申请日： | 2006-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN101003888A | 公开（公告）日： | 2007-07-25 |
| 发明（设计）人： | 简士哲 | 申请（专利权）人： | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/56;C23C14/30;C23C14/26 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518109广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种蒸镀装置，其包括一用于容置一蒸镀材料的坩埚，且该坩埚顶部具有一气流出口，以及一套设在所述坩埚气流出口周缘的衬板，且该衬板具有一与所述坩埚气流出口配合的开口，其中，所述衬板的开口内壁面具有锯齿状突起结构。本发明提供的蒸镀装置可以防止蒸镀材料污染。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 | ||
【主权项】：
1.一种蒸镀装置，其包括一用于容置一蒸镀材料的坩埚，且该坩埚顶部具有一气流出口，以及一套设在所述坩埚气流出口周缘的衬板，且该衬板具有一与所述坩埚气流出口配合的开口，其特征在于：所述衬板的开口内壁面具有锯齿状突起结构。
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