[发明专利]大尺度线栅偏振器的应用和制造技术无效
| 申请号： | 200580041124.3 | 申请日： | 2005-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN101437980A | 公开（公告）日： | 2009-05-20 |
| 发明（设计）人： | 迈克尔·J·利特尔;查尔斯·W·麦克劳克林 | 申请（专利权）人： | 阿古拉科技公司 |
| 主分类号： | C23F1/00 | 分类号： | C23F1/00;B44C1/22 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 王 旭 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 通过在薄膜衬底上形成具有预定周期Λ的多根基本上直的金属线，可以制造线栅偏振器。在衬底的表面上形成多个基本上直的纳米级周期性表面浮雕结构。所述周期性表面浮雕结构覆盖长度大于约4厘米并且宽度大于约4厘米的区域，其中周期Λ在约10纳米和约500纳米之间。在所述周期性表面浮雕结构上形成一个或多个材料层。所述一个或多个层包含一种或多种导电材料，所述导电材料在长度大于约4厘米并且宽度大于约4厘米的所述衬底区域上形成所述多根基本上直的金属线。 | ||
| 搜索关键词： | 尺度 偏振 应用 制造 技术 | ||
【主权项】：
1. 一种用于在薄膜衬底上形成具有预定周期Λ的多根基本上直的金属线的方法，所述方法包括如下步骤：在所述衬底的表面上形成多个基本上直的纳米级周期性表面浮雕结构，其中所述周期性表面浮雕结构覆盖长度大于约4厘米并且宽度大于约4厘米的区域，其中周期Λ在约10纳米和约500纳米之间；和在所述周期性表面浮雕结构上形成一个或多个材料层，所述一个或多个层包含一种或多种导电材料，所述导电材料在长度大于约4厘米并且宽度大于约4厘米的所述衬底区域上形成所述多根基本上直的金属线，其中周期Λ在约10纳米和约500纳米之间。
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