[实用新型]真空蒸镀装置无效
| 申请号： | 200520120559.4 | 申请日： | 2005-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN2887888Y | 公开（公告）日： | 2007-04-11 |
| 发明（设计）人： | 黄荣龙;彭家鹏;赖建廷;杨秋莲 | 申请（专利权）人： | 群康科技（深圳）有限公司;群创光电股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/54 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518109广东省深圳市宝*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种真空蒸镀装置，其包括一真空腔、一喷头、一工作台和一扩散板。该喷头和该工作台在该真空腔内相对设置，该扩散板固定在该喷头上。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 装置 | ||
【主权项】：
1.一种真空蒸镀装置，其包括一真空腔、一喷头、一工作台，该喷头和该工作台在该真空腔内相对设置，其特征在于：该真空蒸镀装置进一步包括一扩散板，该扩散板固定在该喷头上。
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