[发明专利]一种近场光学增强型可见光探测器无效
申请号: | 200510093368.8 | 申请日: | 2005-08-26 |
公开(公告)号: | CN1921151A | 公开(公告)日: | 2007-02-28 |
发明(设计)人: | 康亭亭;刘祥林 | 申请(专利权)人: | 中国科学院半导体研究所 |
主分类号: | H01L31/101 | 分类号: | H01L31/101 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人: | 段成云 |
地址: | 100083北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明涉及光探测器技术领域,特别是一种近场光学增强型可见光探测器的器件结构。利用表面等离激元的近场光场增强效应,即表面等离激元,表面等离激元将光场限制在一个小的区域内,表面等离激元是光场在导体表面与载流子相互耦合形成的振荡波,来提高光吸收效率。本发明中表面等离激元的激发、耦合是通过具有周期性结构的金属薄膜来实现的,同时该金属薄膜又具有肖特基接触的功能。 | ||
搜索关键词: | 一种 近场 光学 增强 可见光 探测器 | ||
【主权项】:
1.一种近场光学增强型可见光探测器,其特征在于,利用表面等离激元的近场光场增强效应,即表面等离激元,表面等离激元将光场限制在一个小的区域内,表面等离激元是光场在导体表面与载流子相互耦合形成的振荡波,来提高光吸收效率,表面等离激元的激发、耦合是通过具有周期性结构的金属薄膜来实现的,同时该金属薄膜又具有肖特基接触的功能。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
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