[发明专利]一种近场光学增强型可见光探测器无效

专利信息
申请号: 200510093368.8 申请日: 2005-08-26
公开(公告)号: CN1921151A 公开(公告)日: 2007-02-28
发明(设计)人: 康亭亭;刘祥林 申请(专利权)人: 中国科学院半导体研究所
主分类号: H01L31/101 分类号: H01L31/101
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 代理人: 段成云
地址: 100083北*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明涉及光探测器技术领域,特别是一种近场光学增强型可见光探测器的器件结构。利用表面等离激元的近场光场增强效应,即表面等离激元,表面等离激元将光场限制在一个小的区域内,表面等离激元是光场在导体表面与载流子相互耦合形成的振荡波,来提高光吸收效率。本发明中表面等离激元的激发、耦合是通过具有周期性结构的金属薄膜来实现的,同时该金属薄膜又具有肖特基接触的功能。
搜索关键词: 一种 近场 光学 增强 可见光 探测器
【主权项】:
1.一种近场光学增强型可见光探测器,其特征在于,利用表面等离激元的近场光场增强效应,即表面等离激元,表面等离激元将光场限制在一个小的区域内,表面等离激元是光场在导体表面与载流子相互耦合形成的振荡波,来提高光吸收效率,表面等离激元的激发、耦合是通过具有周期性结构的金属薄膜来实现的,同时该金属薄膜又具有肖特基接触的功能。
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