[发明专利]供电控制单元无效
| 申请号： | 200480004246.0 | 申请日： | 2004-02-12 |
| 公开（公告）号： | CN1751376A | 公开（公告）日： | 2006-03-22 |
| 发明（设计）人： | 彼得·韦德姆斯;阿尔弗雷德·特拉驰;迪特尔·米尔;格尔哈德·策林格 | 申请（专利权）人： | 许廷格电子有限及两合公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01J37/34;G05F1/66 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 李勇 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 一种供电控制单元(1)和用于控制由一个交流电源(2)向至少两个耗电器件，特别是等离子处理中的耗电器件提供电功率的方法，其中向该耗电器件提供的实际电功率供给被检测，并与一个给定的期望电功率供给进行比较，当存在差异时，通过提供和/或去除该交流电源(2)和至少一个所述耗电器件之间的功率，调节每一耗电器件的电功率供给。该方法和控制单元(1)能够独立于该交流电源的类型控制提供给等离子处理中电极的电功率供给，使其等于给定的电功率供给。 | ||
| 搜索关键词： | 供电 控制 单元 | ||
【主权项】：
1.一种控制由交流电源(2)向至少两个耗电器件，特别是等离子处理中的耗电器件提供电功率的方法，其中检测提供给该耗电器件的实际电功率供给，并与一个给定的期望电功率供给进行比较，如果这二者不同的话，则调节每一耗电器件的电功率供给。
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