[发明专利]表面声波器件及其制造方法有效
| 申请号： | 200410034211.3 | 申请日： | 2004-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN1534869A | 公开（公告）日： | 2004-10-06 |
| 发明（设计）人： | 川内治;伊形理;上田政则;藁科卓 | 申请（专利权）人： | 富士通媒体部品株式会社;富士通株式会社 |
| 主分类号： | H03H3/08 | 分类号： | H03H3/08;H03H9/25;H01L23/14 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 李辉 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种表面声波器件，包括：具有第一表面的压电基板，在该第一表面上设置多个梳状电极、与其相连的多个第一焊盘、和第一膜。该第一膜被设置为包围该梳状电极。底基板具有第二表面，在该第二表面上设置与该第一焊盘接合的多个第二焊盘和与该第一膜接合的第二膜。通过表面活化处理而接合的该第一和第二膜限定了其中气密地密封有该梳状电极以及该第一和第二焊盘的腔。 | ||
| 搜索关键词： | 表面 声波 器件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1、一种表面声波器件，其包括：具有第一表面的压电基板，在所述第一表面上设置多个梳状电极、与其相连的多个第一焊盘、和第一膜，所述第一膜被设置为包围所述梳状电极；和具有第二表面的底基板，在所述第二表面上设置与所述第一焊盘接合的多个第二焊盘和与所述第一膜接合的第二膜，通过表面活化处理而接合的所述第一和第二膜限定了其中气密地密封有所述梳状电极以及所述第一和第二焊盘的腔。
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