[发明专利]碳纳米管制造方法有效
| 申请号： | 200410015376.6 | 申请日： | 2004-02-12 |
| 公开（公告）号： | CN1654320A | 公开（公告）日： | 2005-08-17 |
| 发明（设计）人： | 宋长志 | 申请（专利权）人： | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | C01B31/02 | 分类号： | C01B31/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518109广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种生长碳纳米管的方法，包括下列步骤：采用X光深刻电铸模造(LIGA，Lithography EletroformingMicro Molding)制程形成一表面具有微孔结构的基底；采用化学气相沉积法在基底表面生长与其基本垂直的碳纳米管。本发明采用X光深刻电铸模造制程处理用于碳纳米管生长的基底，解决先前技术中碳纳米管取向性低且均匀性差的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 纳米 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种碳纳米管制造方法，其特征在于该方法包括下列步骤：采用X光深刻电铸模造制程形成一表面具有微孔结构的基底；采用化学气相沉积法在基底表面生长与其基本垂直的碳纳米管。
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