[发明专利]有害气体的净化方法无效
| 申请号： | 200310123003.6 | 申请日： | 2003-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN1511616A | 公开（公告）日： | 2004-07-14 |
| 发明（设计）人： | 大塚健二;笠谷尚史;秋山敏雄 | 申请（专利权）人： | 日本派欧尼株式会社 |
| 主分类号： | B01D53/72 | 分类号： | B01D53/72;B01D53/18 |
| 代理公司： | 北京三幸商标专利事务所 | 代理人： | 刘激扬 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供了有害气体的净化方法，即使处理对象的有害气体是干燥的、或者含有氨的情况，也可不降低有害成分的除去率、不新生成氮氧化物等有害成分、以高效率、优良的净化能力净化从氮化镓类化合物半导体的制造工序等排出的含有三甲基镓等的有害成分的气体。将含有上述有害成分的气体与净化剂接触，从该有害气体除去该有害成分，上述净化剂是在以氧化铜(II)及氧化锰(IV)作为主成分的金属氧化物中添加碱金属化合物构成的。 | ||
| 搜索关键词： | 有害 气体 净化 方法 | ||
【主权项】：
1.有害气体的净化方法，其特征是将作为有害成分含有由三甲基镓、三乙基镓、三甲基铟、三乙基铟、三甲基铝及三乙基铝选出的至少1种的有害气体与净化剂接触，从该有害气体除去该有害成分，上述净化剂是在以氧化铜(II)及氧化锰(IV)作为主成分的金属氧化物中添加碱金属化合物构成的。
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