[发明专利]具防止铜扩散阻障效果之介电质

摘要

本发明系关于新颖的多－邻－羟基醯胺类，其可被环化为具对金属的良好扩散阻障效果之聚苯并恶唑类。这些多－邻－羟基醯胺类可由习知技术施用于半导体基材及藉由加热以简单方式转化为聚苯并恶唑。因为对金属扩散的良好阻障效果。在导体轨迹及介电体间的扩散阻障基本上可免除。

主权项

1.一种分子式I的多-邻-羟基醯胺：分子式I其中Y²为Y¹及Y³彼此独立个别具与Y²相同的意义，且为Z¹、Z²及Z³皆独立，为A，若a＝0及/或d＝1，为*-H若a＝1及/或d＝0，为*-OH*-NH₂E为W为*-H *-CN*-C≡CHT为*-O-* *-S-*Q为*-O-* *-S-*R¹为*-HR²为-H、-CF₃、-OH、-SH、-COOH、-N(R⁵)₂、烷基、芳香基、杂芳香基及*-C≡CHR3为*-O-**-S-* *-SO₂* *-S₂**-C≡C-*R⁴为*-HR⁵为烷基、芳香基或杂芳香自由基；a为0或1；b为1-200；c为0-200；d为0或1；e为0-10；f为0-10；g为0-10；h为0-10；n为0或1；x为0-10若R³为-CH₂-。