[发明专利]氮化硼坩埚的化学清洗无效
| 申请号： | 03110866.0 | 申请日： | 2003-01-13 |
| 公开（公告）号： | CN1517159A | 公开（公告）日： | 2004-08-04 |
| 发明（设计）人： | 李炳辉;吕有明;申德振;刘益春;梁红伟;张吉英;范希武 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | B08B3/08 | 分类号： | B08B3/08;C23G1/02;F27B14/10 |
| 代理公司： | 长春科宇专利代理有限责任公司 | 代理人： | 李恩庆;杨恕平 |
| 地址： | 130022吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种氮化硼坩埚的化学清洗方法，属于化学清洗领域，涉及一种对氮化硼坩埚的化学清洗方法。用浓硫酸、浓硝酸、氢氟酸配置的混合酸液和60％NaOH溶液将氮化硼坩埚被浸润的表层腐蚀剥离并能保证氮化硼坩埚的完整，能将氮化硼坩埚彻底清洗干净，不残留任何杂质，使其可以多次使用，熔融不同的材料，降低成本。 | ||
| 搜索关键词： | 氮化 坩埚 化学 清洗 | ||
【主权项】：
1、一种氮化硼坩埚的化学清洗方法，采用化学和超声处理方法对氮化硼坩埚进行彻底清洗，其特征是采用如下步骤：a.根据氮化硼坩埚残留的原有熔融材料选择相应的化学试剂对氮化硼坩埚进行初步清洗；b.使用体积比为1∶1∶1的浓硫酸、浓硝酸、氢氟酸配置的混合酸液浸蚀处理15分钟以上，用去离子水冲洗；c.用60％NaOH溶液煮30分钟以上，用去离子水冲洗，再用去离子水超声处理两次，每次10分钟以上；d.用体积比为1∶3的硝酸、盐酸混合酸液煮，直至使该混合酸液由金黄变成红色再变成黄色以后，用去离子水冲洗，再用去离子水超声处理两次，每次10分钟以上；c.去离子水煮三次，每次15分钟以上，然后用红外灯烘干，放入高温扩散炉中通氧气烘12小时以上。
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