[发明专利]钒酸钇单晶片的批量加工工艺

摘要

钒酸钇单晶片的批量加工工艺，用X射线定向仪对钒酸钇单晶材料定向，用蜡把钒酸钇单晶材料固定好，用切割机切出钒酸钇晶片；选用窄于钒酸钇单晶片厚度的玻璃条，把所要上盘的晶片和玻璃条均匀涂上蜡，玻璃条摆成许多小方格，把晶片放入小方格中；用磨棒在晶片之间的沟滑动；在二轴机或四轴上用W20的金刚砂进行粗磨，用W7的金刚砂进行精磨，再进行抛光。先用氧化铈进行初抛，再用SiO₂14—16％、Na0.3％、其它杂质0.01％、其余量为水的抛光液精抛。形成了整体上盘，整体倒角，解决了倒角难题，大幅度降低产品成本，大大提高产品的质量和生产效率。

主权项

1、一种钒酸钇单晶片的批量加工工艺，按如下步骤进行：第一步：选用钒酸钇单晶材料，用X射线定向仪定向对钒酸钇单晶材料进行定向，先用标准块调零，然后测出钒酸钇单晶的晶向；第二步：用蜡把定好向的钒酸钇单晶材料固定好，根据光垂直通过平面时，反射光会返回到原发光点的原理来调节切割机的切割方向，用切割机切出钒酸钇的晶片外形；第三步：辅助卡具选用一些窄于钒酸钇单晶片厚度的玻璃条，把所要上盘的钒酸钇晶片和玻璃条均匀涂上蜡，用玻璃条摆成许多小方格，然后把钒酸钇晶片放入小方格中，最后压紧、摆齐、固定好；用磨棒在钒酸钇晶片的行与行之间和竖与竖之间的沟滑动，对钒酸钇单晶片进行快速的倒角；第四步：采用W20的金刚砂在二轴机或四轴上对钒酸钇进行粗磨，采用W7的金刚砂进行精磨。第五步：在二轴机或四轴机上进行抛光。