[发明专利]包括填充的半透明区域的抛光垫无效
| 申请号： | 01816948.1 | 申请日： | 2001-09-20 |
| 公开（公告）号： | CN1468162A | 公开（公告）日： | 2004-01-14 |
| 发明（设计）人： | 凯利·J·纽厄尔 | 申请（专利权）人： | 卡伯特微电子公司 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04;B24B49/12 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 贾静环;宋莉 |
| 地址： | 美国伊*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供了一种抛光垫，其包含一个至少为半透明的区域，其中该半透明区域包含基质聚合物及填充剂。本发明也提供了一种生产包含一个至少为半透明的区域的抛光垫的方法，该方法包含：(a)提供一个多孔性基质聚合物；(b)用填充剂填充该基质聚合物的至少一部份的孔洞，以提供一个至少为半透明的区域；并(c)形成包含半透明区域的抛光垫。本发明还提供了将基材，特别是半导体基材抛光的方法，其包含使用在本发明提供的抛光垫。 | ||
| 搜索关键词： | 包括 填充 半透明 区域 抛光 | ||
【主权项】：
1.一种抛光垫，包含至少为半透明的区域，其中该半透明区域包含基质聚合物及填充剂。
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