[发明专利]金属离子含量低的4,4′－[1－[4－[1－(4－羟基苯基)－1－甲基乙基]苯基]－1,1－亚乙基]双酚及其光敏抗蚀剂组合物无效
| 申请号： | 01110986.6 | 申请日： | 1996-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN1312487A | 公开（公告）日： | 2001-09-12 |
| 发明（设计）人： | M·D·拉曼;D·P·奥宾 | 申请（专利权）人： | 克拉里安特国际有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 黄淑辉 |
| 地址： | 瑞士*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供制备金属离子含量低的TPPA的方法,采用了处理过的离子交换树脂。还提供了从这种TPPA制备光敏抗蚀剂组合物的方法,以及采用这种光敏抗蚀剂组合物生产半导体器件的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 金属 离子 含量 羟基 苯基 甲基 乙基 及其 光敏 抗蚀剂 组合 | ||
【主权项】：
1．一种制备正性光敏抗蚀剂组合物的方法，包括：a)用去离子(DI)水清洗酸性离子交换树脂，随后用无机酸溶液清洗，再用DI水清洗，从而降低离子交换树脂中钠和铁离子含量至各低于200ppb；b)用DI水清洗阴离子交换树脂，随后用无机酸溶液清洗，再用DI水清洗，然后用氢氧化铵溶液清洗，再用DI水清洗，从而降低阴离子交换树脂中钠和铁离子含量至各低于200ppb；c)制备在DI水中的TPPA浆，固含量约1-20％，并过滤得到滤饼；d)将滤饼倒入DI水中，再制备浆液，固含量约1-20％，并过滤；e)制备TPPA的滤饼在极性溶剂或极性溶剂混合物中的溶液；f)将TPPA溶液通过所述阳离子交换树脂，随后通过所述阴离子交换树脂，从而降低所述TPPA溶液中的金属离子含量至各低于100ppb；g)将TPPA溶液加入DI水中，从而沉淀出TPPA；h)通过过滤器过滤TPPA，并且干燥TPPA；i)通过提供以下组分的混合物制备光敏抗蚀剂组合物：1)足以光敏化光敏抗蚀剂组合物的光敏组分；2)金属离子含量十分低的不溶于水而溶于碱水的成膜性酚醛清漆树脂；3)纯化的TPPA；4)合适的光敏抗蚀剂溶剂。
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