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[发明专利]用于在光刻对准设备中测量强度的系统和方法-CN202280010440.8在审
发明人： M·斯威拉姆;J·L·克勒泽;S·鲁;M·L·纳尔逊;M·艾莱伊普 -专利权人： ASML控股股份有限公司
申请日： 2022-01-04 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种量测系统，包括辐射源、可调整的衍射元件、光学系统、光学元件、和处理器。辐射源产生辐射。可调整的衍射元件使辐射衍射以产生第一辐射束和第二辐射束。第一束和第二束分别具有不同的第一非零衍射阶和第二非零衍射阶。光学系统将第一束和第二束朝向目标结构引导，使得分别基于第一束和第二束产生辐射的第一散射束和第二散射束。量测系统调整第一散射束与第二散射束的相位差。光学元件使第一散射束和第二散射束在产生检测信号的成像检测器处干涉。处理器接收并分析检测信号以基于经调整的相位差确定目标结构的性质。
用于光刻对准设备测量强度系统方法

[发明专利]光刻设备、量测系统及其方法-CN202180086361.0在审
发明人： A·J·A·贝克曼;塞巴斯蒂安努斯·阿德里安努斯·古德恩;S·鲁;S·索科洛夫;F·阿尔佩吉安尼 -专利权人： ASML荷兰有限公司;ASML控股股份有限公司
申请日： 2021-12-02 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： G03F9/00 文献下载
摘要：一种方法，包括：用顺序照射镜头辐照目标结构；将来自所述目标结构的散射束朝向成像检测器引导；使用所述成像检测器来产生检测信号；以及至少基于所述检测信号来确定所述目标结构的性质。顺序照射镜头中的每个照射镜头的积分时间被选择以降低低频误差。
光刻设备系统及其方法

[发明专利]包括聚合物和选自薄荷醇及其衍生物的化合物的保湿组合物-CN202180083041.X在审
发明人： S·鲁;卡罗琳·西里钱德拉;迈萨-哈多·法鲁 -专利权人：欧莱雅
申请日： 2021-12-10 - 公布日： 2023-08-11 - 主分类号： A61K8/81 文献下载
摘要：本发明涉及一种水包油乳液形式的组合物，在生理学上可接受的介质中包括：至少一种选自聚甲基丙烯酸甘油酯的聚合物、至少一种选自丙烯酸聚合物接枝的淀粉的超吸收性聚合物和至少一种选自薄荷醇及其衍生物的化合物。
包括聚合物选自薄荷醇及其衍生物化合物保湿组合

[发明专利]具有热塑性塑料核心部件的密封条-CN201880070632.1有效
发明人： S·鲁;V·米库特 -专利权人： CQLT萨固密技术有限公司
申请日： 2018-11-14 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： B60J10/16 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于在车身上形成密封的密封条，尤其是用于在窗槽条或窗导向部上形成密封以密封可运动式车窗，该密封条具有由热塑性材料制成的挤出成型的核心部件(2)和与该核心部件(2，14)相连接的由弹性材料制成的挤出成型的密封区段(10)。按照本发明，密封区段(10)由经硫化的弹性材料、尤其是EPDM制成，并且核心部件(2、14)或一个核心部件区段(14)在连接到经硫化的密封区段(10)的情况下被挤出成型在该密封区段上，所述核心部件区段与核心部件其余部分(2)相连。本发明还涉及一种用于制造这样的密封条的方法。
具有塑性塑料核心部件密封条

[发明专利]基于多模式干涉的光谱量测系统和光刻设备-CN202180060650.3在审
发明人： M·斯威拉姆;J·L·克勒泽;S·鲁 -专利权人： ASML控股股份有限公司
申请日： 2021-06-29 - 公布日： 2023-05-23 - 主分类号： G03F9/00 文献下载
摘要：一种量测系统包括：辐射源、光学元件、第一检测器及第二检测器、包括多模波导的集成式光学装置、以及处理器。辐射源产生辐射。光学元件朝向目标引导辐射以产生来自目标的散射辐射。第一检测器接收散射辐射的第一部分并且基于所接收的第一部分产生第一检测信号。多模波导使用多模波导的模式干涉散射辐射的第二部分。第二检测器接收经干涉的第二部分并且基于所接收的经干涉的第二部分产生第二检测信号。处理器接收第一检测信号和第二检测信号。处理器对所接收的第一部分、所接收的经干涉的第二部分以及多模波导的传播特性执行分析。处理器基于所述分析确定目标的特性。
基于模式干涉光谱系统光刻设备

[发明专利]密封组件-CN201880029978.7有效
发明人： S·鲁;P·桑斯 -专利权人： CQLT萨固密技术有限公司
申请日： 2018-05-22 - 公布日： 2023-04-11 - 主分类号： B60J10/79 文献下载
摘要：本发明涉及一种密封组件，包括密封元件(1、1')，所述密封元件具有用于相对于车门的竖直的窗框边腿(2、2')密封车门的可竖直运动的窗玻璃(3、3')的至少一个密封区段(9、10)，按照本发明的密封组件的特征在于，所述密封元件(1、1')此外具有用于形成间隙(6、6')的密封区段(11)，其中，所述间隙在邻接于车门的车身支柱(B柱)和窗玻璃(3、3')的竖直的、朝向车身支柱(4)的边缘侧之间形成，其中，所述密封元件(1、1')具有用于将密封元件(1、1')固定在窗框边腿(2、2')上的区段(12、13、14)。
密封组件

[发明专利]掩模组件-CN202211280390.3在审
发明人： M·克鲁兹恩卡;马尔滕·M·M·詹森;约根·M·阿泽雷L;埃里克·W·博加特;德克·S·G·布龙;马克·布鲁因;理查德·J·布鲁尔斯;J·德克尔斯;保罗·詹森;穆罕默德·R·卡迈利;R·H·G·克莱默;R·G·M·兰斯博根;M·H·A·里恩德尔斯;马太·利普森;E·R·鲁普斯特拉;约瑟夫·H·莱昂斯;S·鲁;G·范德博世;S·范德黑坎特;S·范德格拉夫;F·范德穆伦;J·F·S·V·范罗;B·L·M-J·K·韦伯罗根 -专利权人： ASML荷兰有限公司;ASML控股股份有限公司
申请日： 2015-11-16 - 公布日： 2023-03-24 - 主分类号： G03F1/62 文献下载
摘要：一种适合用于光刻工艺中的掩模组件，所述掩模组件包括：图案形成装置；和表膜框架，所述表膜框架被配置用以支撑表膜且利用安装件而安装在所述图案形成装置上；其中所述安装件被配置成用以相对于所述图案形成装置悬置所述表膜框架，使得所述所述膜框架与所述图案形成装置之间有间隙；且其中所述安装件在所述图案形成装置与所述表膜框架之间提供以可释放的方式可接合的附接。
模组

[发明专利]单片颗粒检查设备-CN202180045300.X在审
发明人： I·范韦佩伦;A·J·A·伯克曼;M·斯维拉姆;J·L·克鲁泽;S·鲁 -专利权人： ASML荷兰有限公司;ASML控股股份有限公司
申请日： 2021-06-09 - 公布日： 2023-03-07 - 主分类号： G01N21/956 文献下载
摘要：提供了用于检测衬底表面上的颗粒的系统、装置和方法。示例方法可以包括由光栅结构接收来自辐射源的相干辐射。方法还可以包括由光栅结构基于相干辐射生成经聚焦相干辐射束。方法还可以包括由光栅结构将经聚焦相干辐射束朝向衬底的表面的区域传输。方法还可以包括由光栅结构响应于利用经聚焦相干辐射束照射区域而接收从该区域散射的光子。方法还可以包括通过光电检测器测量由光栅结构接收的光子。方法还可以包括由光电检测器并且基于所测量的光子生成用于检测位于衬底的表面的区域中的颗粒的电子信号。
单片颗粒检查设备

[发明专利]自参考集成式对准传感器-CN202180044426.5在审
发明人： M·斯威拉姆;J·L·克勒泽;S·鲁 -专利权人： ASML控股股份有限公司
申请日： 2021-06-09 - 公布日： 2023-02-14 - 主分类号： G03F9/00 文献下载
摘要：提供用于确定衬底的对准的系统、设备和方法。示例性方法可以包括朝向衬底的表面的区发射包括第一波长和第二波长的多波长辐射束。所述示例性方法还可以包括响应于所述多波长辐射束对所述区的辐照而测量指示处于所述第一波长的一阶衍射的第一衍射辐射束。所述示例性方法还可以包括响应于所述多波长辐射束对所述区的所述辐照而测量指示处于所述第二波长的一阶衍射的第二衍射辐射束。随后，所述示例性方法可以包括基于所测量的第一组光子和所测量的第二组光子来产生电子信号以用于确定所述衬底的对准位置。
参考集成对准传感器

[发明专利]掩模组件-CN201580062446.X有效
发明人： M·克鲁兹恩卡;马尔滕·M·M·詹森;约根·M·阿泽雷L;埃里克·W·博加特;德克·S·G·布龙;马克·布鲁因;理查德·J·布鲁尔斯;J·德克尔斯;保罗·詹森;穆罕默德·R·卡迈利;R·H·G·克莱默;R·G·M·兰斯博根;M·H·A·里恩德尔斯;马太·利普森;E·R·鲁普斯特拉;约瑟夫·H·莱昂斯;S·鲁;G·范德博世;S·范德黑坎特;S·范德格拉夫;F·范德穆伦;J·F·S·V·范罗;B·L·M-J·K·韦伯罗根 -专利权人： ASML荷兰有限公司;ASML控股股份有限公司
申请日： 2015-11-16 - 公布日： 2022-11-04 - 主分类号： G03F1/62 文献下载
摘要：一种适合用于光刻工艺中的掩模组件，所述掩模组件包括：图案形成装置；和表膜框架，所述表膜框架被配置用以支撑表膜且利用安装件而安装在所述图案形成装置上；其中所述安装件被配置成用以相对于所述图案形成装置悬置所述表膜框架，使得所述所述膜框架与所述图案形成装置之间有间隙；且其中所述安装件在所述图案形成装置与所述表膜框架之间提供以可释放的方式可接合的附接。
模组

[发明专利]小型化重叠测量系统的光学设计-CN202180010867.3在审
发明人： M·斯威拉姆;T·M·T·A·M·埃拉扎里;S·鲁;叶夫根尼·康斯坦丁诺维奇·沙马列夫 -专利权人： ASML控股股份有限公司
申请日： 2021-01-21 - 公布日： 2022-09-06 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种紧凑型传感器设备，具有照射束、束成形系统、偏振调制系统、束投射系统和信号检测系统。所述束成形系统被配置成对从照射系统产生的照射束进行成形且产生所述照射束的在从400nm至2000nm的波长范围内的平顶束斑。所述偏振调制系统被配置成提供所述照射束的线性偏振状态的可调谐性。所述束投射系统被配置成朝向诸如衬底上的对准标记的目标投射所述平顶束斑。所述信号检测系统被配置成收集包括从所述目标产生的衍射阶子束的信号束，并且基于所述信号束测量所述目标的特性(例如，重叠)。
小型化重叠测量系统光学设计

[发明专利]具有掩饰条的密封元件-CN201880007166.2有效
发明人： S·鲁;P·桑斯 -专利权人： CQLT萨固密技术有限公司
申请日： 2018-02-08 - 公布日： 2022-08-30 - 主分类号： B60J10/75 文献下载
摘要：本发明涉及一种包括掩饰条(6)的密封元件(4)，尤其是用于可下沉到窗凹槽中的窗面(3)在窗凹槽的入口处的密封。按照本发明，所述密封元件(4)的有待通过注塑制造的区段(7)通过注塑到掩饰条(6)上与掩饰条(6)连接。在一种相应的按照本发明的方法中，掩饰条(6)这样地被预热，使得所述掩饰条的收缩直到冷却到环境温度为止都与注塑的材料的收缩相协调。
具有掩饰密封元件

[发明专利]用于对汽车车身的部件或者车窗进行边缘侧密封的装置和用于制造密封装置的方法-CN201780063749.2有效
发明人： M·洛里希;S·鲁;D·蒂埃尔 -专利权人： CQLT萨固密技术有限公司
申请日： 2017-10-13 - 公布日： 2022-06-14 - 主分类号： B60J10/16 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于对汽车车身的部件或者车窗(9)进行边缘侧密封的装置，该装置具有固定元件(3)，借助该固定元件，密封装置(1)可固定在车身凸缘(6)上并且该固定元件被设置用于保持至少一个密封条(2)，其中，固定元件(3)包括一个主腿部(4)，装饰元件(7)被固定在该主腿部上，该装饰元件在安装到汽车车身上之后具有可见的可视面，并且固定元件包括至少一个从主腿部(4)伸出的连接腿部(5)，该连接腿部被设置用于容纳密封条(2)。按照本发明，固定元件(3)以及装饰元件(7)和/或密封条(2)由塑料或者纤维复合材料制成并且一方面固定元件(3)以及另一方面装饰元件(7)和/或密封条(2)借助注塑被成形在彼此上。在本发明的一种实施方式中，固定元件(3)以及装饰元件(7)和/或密封条(2)借助多组分‑注塑被制造。本发明还涉及一种用于制造这样的密封装置(1)的方法。
用于汽车车身部件或者车窗进行边缘密封装置制造方法

[发明专利]量测标记结构和确定量测标记结构的方法-CN202080071855.7在审
发明人： T·M·T·A·M·埃拉扎里;罗伯特·约翰·索卡;S·鲁;S·R·胡伊斯曼 -专利权人： ASML控股股份有限公司;ASML荷兰有限公司
申请日： 2020-09-25 - 公布日： 2022-05-27 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本文描述具有子分段光栅结构作为量测标记的半导体器件的结构和用于配置所述量测标记的方法。用于配置量测标记的方法可以用于光刻过程中。所述方法包括确定设置于叠置层内的初始量测标记的初始特性函数。所述方法还包括使所述量测标记的多个子分段的一个或更多个变量(例如所述多个子分段的节距、占空比和/或线宽)扰动以及另外使所述叠置层内的一个或更多个层的厚度扰动。所述方法还包括迭代地执行扰动，直到确定初始量测标记的最小化特性函数以设置用于所述多个子分段的配置为止。
标记结构确定方法

[发明专利]用于半导体光刻术的组件及其制造方法-CN201880070983.2有效
发明人： S·鲁;C·W·里德 -专利权人： ASML控股股份有限公司
申请日： 2018-10-05 - 公布日： 2022-05-24 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种光学组件和制造光学组件的方法，其中使用增材制造技术直接在光学元件上形成支撑结构，或直接在载体上形成支撑结构，随后结合至光学元件。
用于半导体光刻组件及其制造方法

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