专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]由不同材料制造结晶材料的方法-CN202080092221.X在审
  • M.伦德尔;R.格鲁亚 - 戴森技术有限公司
  • 2020-11-10 - 2022-08-19 - C23C14/08
  • 一种在表面上制造材料的结晶层的方法,该结晶层包含锂、至少一种过渡金属和至少一种抗衡离子,其中该方法包括以下步骤:将来自包含锂的第一靶的材料等离子体溅射到基板的表面或由基板支撑的表面上,至少存在对应于粒子从第一靶到表面上的轨迹的第一羽流,以及将来自包含至少一种过渡金属的第二靶的材料等离子体溅射到表面上,至少存在对应于粒子从第二靶到表面上的轨迹的第二羽流。第一靶定位成与第二靶不平行,第一羽流和第二羽流会聚在靠近基板表面或由基板支撑的表面的区域,并且结晶层形成在所述区域的表面上。
  • 不同材料制造结晶方法
  • [发明专利]在基板上沉积材料的方法-CN202080092535.X在审
  • M.伦德尔;R.格鲁亚 - 戴森技术有限公司
  • 2020-11-13 - 2022-08-19 - H01J37/34
  • 提供了一种在基板上沉积材料的方法,该方法包括:远离适于等离子体溅射的一个或多个溅射靶产生等离子体,其中,所述一个或多个靶的至少一个不同区域包含碱金属、碱土金属、含碱金属的化合物、含碱土金属的化合物或其组合;使用等离子体从所述一个或多个靶产生溅射材料;和在基板上沉积溅射材料,所述靶和基板之间的工作距离在系统的理论平均自由程的+/‑50%范围内。
  • 基板上沉积材料方法
  • [发明专利]用于将靶材料溅射沉积到基底的方法和设备-CN202080089400.8在审
  • M.伦达尔;R.格鲁亚 - 戴森技术有限公司
  • 2020-11-10 - 2022-08-05 - H01J37/32
  • 公开了一种用于将靶材料溅射沉积到基底的设备。在一种形式中,该设备包括在使用中在其中提供基底的基底部分和在使用中在其中提供靶材料的靶部分。靶部分和基底部分在它们之间限定沉积区。该设备包括在使用中用于产生等离子体的天线装置和限制装置。限制装置包括天线装置和沉积区之间的第一元件以及第二元件。天线装置位于第二元件和沉积区之间。第一元件在使用中将等离子体限制成朝向沉积区,以提供靶材料到基底的溅射沉积。第二元件在使用中将等离子体限制成远离第二元件,朝向天线装置,并且经由第一元件朝向沉积区。
  • 用于材料溅射沉积基底方法设备
  • [发明专利]用于将靶材料溅射沉积到基底的方法和设备-CN202080089407.X在审
  • M.伦德尔;R.格鲁亚 - 戴森技术有限公司
  • 2020-11-10 - 2022-08-02 - H01J37/32
  • 公开了一种用于将靶材料溅射沉积到基底的设备。在一种形式中,该设备包括布置成沿着弯曲路径引导基底的基底引导件和与基底引导件间隔开并布置成支撑靶材料的靶部分。靶部分和基底引导件在它们之间限定沉积区。该设备包括限制装置,其包括一个或多个磁性元件,所述磁性元件布置成提供限制磁场以将等离子体限制在沉积区中,从而在使用中提供将靶材料溅射沉积到基底卷材,限制磁场的特征在于磁场线布置成至少在沉积区中基本沿着弯曲路径的曲线,从而将所述等离子体限制在弯曲路径的所述曲线周围。
  • 用于材料溅射沉积基底方法设备

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