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专利名称

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申请人
公布日期

农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]用于提供末端执行器的装置、系统和方法-CN202310877255.5在审
发明人： J·鲍斯布姆;B·纳德力;R·曼罗;T·P·麦哲 -专利权人：捷普有限公司
申请日： 2017-12-06 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本发明提供了用于提供末端执行器的装置、系统和方法。所述末端执行器可以为能够适用不同尺寸的半导体晶圆，并可以包括以下部件：晶圆支撑件；支承臂，所述支承臂能够与至少一个机器人元件进行配合，且在所述支撑臂一端至少部分地支承该晶圆支撑件；多个支撑垫，所述多个支撑垫位于晶圆支撑件上，以用于与多个半导体晶圆中的一个物理配合；以及低摩擦移动夹具，所述低摩擦移动夹具，该低摩擦移动夹具沿着至少部分地由该支承臂提供的平面获得双向驱动，其中，所述低摩擦移动夹具对半导体晶圆的近端边缘可缩回地施加作用力。
用于提供末端执行装置系统方法

[发明专利]用于提供末端执行器的装置、系统和方法-CN201711278199.4有效
发明人： J·鲍斯布姆;B·纳德力;R·曼罗;T·P·麦哲 -专利权人：捷普有限公司
申请日： 2017-12-06 - 公布日： 2023-08-01 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本发明提供了用于提供末端执行器的装置、系统和方法。所述末端执行器可以为能够适用不同尺寸的半导体晶圆，并可以包括以下部件：晶圆支撑件；支承臂，所述支承臂能够与至少一个机器人元件进行配合，且在所述支撑臂一端至少部分地支承该晶圆支撑件；多个支撑垫，所述多个支撑垫位于晶圆支撑件上，以用于与多个半导体晶圆中的一个物理配合；以及低摩擦移动夹具，所述低摩擦移动夹具，该低摩擦移动夹具沿着至少部分地由该支承臂提供的平面获得双向驱动，其中，所述低摩擦移动夹具对半导体晶圆的近端边缘可缩回地施加作用力。
用于提供末端执行装置系统方法

[发明专利]用于为末端执行器提供适合的真空杯的装置、系统和方法-CN201711348452.9有效
发明人： J·鲍斯布姆;R·曼罗;T·P·麦哲 -专利权人：捷普有限公司
申请日： 2017-12-15 - 公布日： 2023-07-14 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：所公开的实施例是并且至少包括用于为末端执行器提供真空夹持的装置、系统和方法。所述装置、系统和方法可以包括至少一个真空抽吸孔眼，所述真空抽吸孔眼在其基部与真空连通关联，并且在其最顶端部分处具有比在所述基部更大的横截面圆周；延伸的杯形泡沫部分，其包括接收部分，所述接收部分适于在其中接收所述最顶端部分的较大横截面圆周；以及线夹，所述线夹具有沿所述延伸的杯形泡沫部分的横截面平面插入的两个腿部，所述两个腿部适于在所述真空抽吸孔眼的第二横截面圆周上的两个切点处将所述接收部分压缩成摩擦接触，所述第二横截面圆周在所述较大横截面圆周下方。
用于末端执行提供适合真空装置系统方法

[发明专利]用于可变幅宽末端执行器的装置、系统和方法-CN202180037557.0在审
发明人： J·鲍斯布姆;G·霍根;B·韦伯;B·纳德力;M·麦肯尼;K·K·于;R·曼罗 -专利权人：捷普有限公司
申请日： 2021-05-19 - 公布日： 2023-04-04 - 主分类号： B25J9/00 文献下载
摘要：一种用于提供可变幅宽末端执行器的装置、系统和方法。可变幅宽末端执行器可以包括：两个臂，每个臂用于保持被保持元件的一部分；两对支承导轨，每对支承导轨与所述两个臂中的一个臂唯一地机械关联，其中一对支承导轨的水平与另一对支承导轨的第二水平在垂直轴线上交错，并且其中交错的成对支承导轨彼此交错；以及电机，所述电机能够驱动与所述两个臂中的每个臂机械关联的带，其中所述电机的致动驱动所述带以使所述两个臂中的每个臂同步移动越过所述成对的支承轨道中的相应的一对支承轨道，以改变所述两个臂之间的幅宽。
用于可变幅宽末端执行装置系统方法

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