专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]设计和制造光学微影掩膜的方法及系统-CN201410369382.5有效
  • P·维尔马;T·P·卢坎 - 格罗方德半导体公司
  • 2014-07-30 - 2017-07-04 - H01L21/027
  • 本发明涉及设计和制造光学微影掩膜的方法及系统,提供一种设计光学光罩的方法,该方法包括设置目标图案;以光学邻近校正(OPC)模型校正该目标图案;调整该目标图案及/或该光学邻近校正模型;以及校正第一校正图案。该目标图案指示在半导体衬底上的光阻层中的预图案化开口的目标形状。校正该目标图案包括使用光学邻近校正(OPC)模型以产生包含边缘位置误差(EPE)信息、第一校正图案及/或该预图案化开口的模拟轮廓的光学邻近校正输出信息。调整该目标图案及/或该光学邻近校正模型包括以基于该光学邻近校正输出信息的在光学邻近校正的基础上的调整。校正该第一校正图案包括回应以该光学邻近校正为基础的调整而使用该光学邻近校正模型来产生第二校正图案。
  • 设计制造光学微影掩膜方法系统
  • [发明专利]带有降低尺寸的集管的小通道热交换器-CN200580047566.9有效
  • M·B·戈尔诺诺夫;P·维尔马 - 开利公司
  • 2005-12-28 - 2008-01-23 - F28F9/04
  • 热交换器包括多个在分开的集管之间延伸的平的多通道热交换管。每个热交换管具有通过过渡连接器流体流动连通到入口集管的入口端。过渡连接器具有主体,主体限定了从在其入口端内的入口开口延伸到在其出口端内的出口开口的发散流动路径,过渡连接器还具有管状接头,管状接头从发散流动路径的入口端向外延伸通过入口集管的壁。管状接头限定了在过渡连接器的发散流动路径的入口端和入口集管的流体室之间延伸的流体流动路径。入口集管的侧向尺寸小于热交换管的侧向尺寸。
  • 带有降低尺寸通道热交换器

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