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[发明专利]微机电系统管芯和微机电系统装置-CN202310231300.X在审
发明人： P·V·洛佩特;M·佩德森 -专利权人：美商楼氏电子有限公司
申请日： 2023-03-10 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： B81B7/02 文献下载
摘要：本申请涉及微机电系统管芯和微机电系统装置。微机电系统(MEMS)装置包括MEMS管芯，该MEMS管芯包括第一振膜和第二振膜，各自设置在第一振膜上的第一多个电极，以及各自设置在第二振膜上的第二多个电极。固定介电元件设置在第一振膜和第二振膜之间并包括多个孔。MEMS管芯还包括第三多个电极，其中，第三多个电极中的每一个包括：第一导电层，第一导电层邻近第一多个电极中的至少一个设置在第一振膜上；第二导电层，第二导电层邻近第二多个电极中的至少一个设置在第二振膜上；以及导电引脚，所述导电引脚延伸穿过多个孔的一个孔并将第一导电层电连接到第二导电层。
微机系统管芯装置

[发明专利]MEMS管芯和基于MEMS的振动传感器-CN202211548305.7在审
发明人： K·邓;M·佩德森;陈立丞;S·舒伯姆;F·扎曼 -专利权人：美商楼氏电子有限公司
申请日： 2022-12-05 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： B81B3/00 文献下载
摘要：本发明涉及MEMS管芯和基于MEMS的振动传感器。振动传感器/加速度计在各种实现中包括：MEMS管芯，该MEMS管芯包括具有孔的板；锚固件，该锚固件设置在孔内；多个臂(例如，刚性臂)，所述多个臂从所述锚固件起延伸；以及多个弹性构件(例如，具有精心设计的弹簧刚度的环形弹簧或折叠弹簧)，各个弹性构件将板连接至所述多个臂中的一个臂。该板可以由固体层制成，其中，弹性构件是从该固体层蚀刻的。MEMS管芯还可以包括顶部晶片和底部晶片以及行程止动件，该行程止动件从顶部晶片和底部晶片起延伸并且贯穿所述板。
mems 管芯基于振动传感器

[发明专利]MEMS管芯和基于MEMS的传感器-CN202211171876.3在审
发明人： M·佩德森 -专利权人：美商楼氏电子有限公司
申请日： 2022-09-26 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： H04R19/04 文献下载
摘要：本发明涉及MEMS管芯和基于MEMS的传感器。MEMS传感器的各种实现包括IC管芯，该IC管芯具有形成传感器的后腔容积的至少部分的腔室。该布置帮助解决横向速度梯度和粘滞所引起的损失的问题。在这些实施方式中的一些实施方式中，对腔室进行特别配置(例如，具有支柱、通道和/或环)以减少空气的横向移动。其它解决方案(与这种腔室结合使用)包括使振膜移动得更像活塞的方式(例如，通过添加使“上下”运动更多而横向运动更少的突起)，或者使用活塞(举例来说，诸如集成电路管芯的刚性硅片)来代替振膜的方式。
mems 管芯基于传感器

[实用新型]微机电系统MEMS管芯和振动传感器-CN202223314523.2有效
发明人： K·邓;M·佩德森;陈立丞;S·舒伯姆;F·扎曼 -专利权人：美商楼氏电子有限公司
申请日： 2022-12-05 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： B81B7/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及微机电系统MEMS管芯和振动传感器。振动传感器/加速度计在各种实现中包括：MEMS管芯，该MEMS管芯包括具有孔的板；锚固件，该锚固件设置在孔内；多个臂(例如，刚性臂)，所述多个臂从所述锚固件起延伸；以及多个弹性构件(例如，具有精心设计的弹簧刚度的环形弹簧或折叠弹簧)，各个弹性构件将板连接至所述多个臂中的一个臂。该板可以由固体层制成，其中，弹性构件是从该固体层蚀刻的。MEMS管芯还可以包括顶部晶片和底部晶片以及行程止动件，该行程止动件从顶部晶片和底部晶片起延伸并且贯穿所述板。
微机系统 mems 管芯振动传感器

[发明专利]力反馈补偿的绝对压力传感器-CN201980073662.2有效
发明人： P·V·洛佩特;M·佩德森 -专利权人：美商楼氏电子有限公司
申请日： 2019-11-18 - 公布日： 2023-03-28 - 主分类号： H04R19/04 文献下载
摘要：用于麦克风的MEMS换能器包括封闭腔室、导电引脚阵列、介电网格和振膜。封闭腔室的压力低于大气压力。导电引脚阵列在封闭腔室中处于固定位置，呈二维分布，且在导电引脚阵列之间形成有间隙。介电网格位于封闭腔室内，包括位于导电引脚阵列的间隙之间的介电材料网格，并且被配置为平行于导电引脚移动。该振膜被配置成形成该封闭腔室的一部分并且响应于该封闭腔室内的压力与该换能器的外部的压力之间的压差的变化而偏转。该振膜被配置为响应于压差的变化相对于导电引脚阵列移动介电网格。
反馈补偿绝对压力传感器

[发明专利]具有力反馈的降噪MEMS装置-CN202210384102.2在审
发明人： P·V·洛佩特;M·佩德森;V·纳德瑞恩 -专利权人：美商楼氏电子有限公司
申请日： 2022-04-13 - 公布日： 2022-10-21 - 主分类号： H04R19/00 文献下载
摘要：本发明涉及具有力反馈的降噪MEMS装置。微机电系统MEMS设备包括振膜组件和力反馈系统。振膜组件包括第一振膜和面向第一振膜的第二振膜，在第一振膜和第二振膜之间限定了低压区域。振膜组件还包括第一多个电极、第二多个电极和第三多个电极。固体介电质间隔在第一振膜和第二振膜之间并且包括多个孔。第一多个电极、第二多个电极和第三多个电极中的每个电极至少部分地设置在多个孔中的一个孔内。力反馈系统接收来自振膜组件的输出并产生反馈电压，该反馈电压被施加到振膜组件以在振膜组件上产生静电力，该静电力抵消跨振膜组件的低频压力。
有力反馈 mems 装置

[发明专利]麦克风组件和形成麦克风组件的方法-CN201980031965.8有效
发明人：彼得·洛佩特;M·佩德森;M·昆特兹曼 -专利权人：美商楼氏电子有限公司
申请日： 2019-05-13 - 公布日： 2022-10-04 - 主分类号： H04R1/04 文献下载
摘要：麦克风组件和形成麦克风组件的方法。端口被限定在基板或外壳中的一者中。声换能器被配置成响应于声活动而生成电信号。声换能器包括隔膜，该隔膜将麦克风组件的前腔容积与后腔容积分隔开。前腔容积与端口流体连通，并且后腔容积填充有第一气体，第一气体的热导率低于空气的热导率。集成电路电联接至声换能器并且被配置成从声换能器接收电信号。对前腔容积或后腔容积中的至少一者进行限定的边界的至少一部分被配置成具有顺应性，以便允许压力均衡。第一气体不同于第二气体。
麦克风组件形成方法

[发明专利]MEMS管芯和基于MEMS的传感器-CN202210263170.3在审
发明人： P·V·洛佩特;M·佩德森;V·纳德瑞恩 -专利权人：美商楼氏电子有限公司
申请日： 2022-03-17 - 公布日： 2022-09-27 - 主分类号： H04R19/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种MEMS管芯和基于MEMS的传感器。微机电系统MEMS管芯包括：活塞；面向该活塞的电极，其中，所述活塞与所述电极之间的电容随着所述活塞与所述电极之间的距离改变而改变；以及设置在所述活塞与所述电极之间的弹性结构(例如，垫圈或褶皱壁)，其中，所述弹性结构支撑所述活塞并抵挡所述活塞相对于所述电极的移动。后腔容积由活塞和弹性结构界定，并且弹性结构阻止空气离开后腔容积。活塞可以是由诸如金属或掺杂半导体之类的导电材料制成的刚性体。MEMS管芯还可以包括第二弹性结构，该第二弹性结构为活塞提供进一步的支撑并设置在后腔容积内。
mems 管芯基于传感器

[发明专利]具有电极和电介质的MEMS装置-CN202111569951.7在审
发明人： P·V·洛佩特;M·佩德森 -专利权人：美商楼氏电子有限公司
申请日： 2021-12-21 - 公布日： 2022-06-24 - 主分类号： B81B7/02 文献下载
摘要：本公开涉及具有电极和电介质的MEMS装置。MEMS装置可以包括第一支撑层、第二支撑层和悬置在第一支撑层与第二支撑层之间的固体电介质。固体电介质可以相对于第一支撑层和第二支撑层移动，并且可以包括多个孔。MEMS装置可以包括第一多个电极，所述第一多个电极联接到第一支撑层和第二支撑层并且延伸穿过所述多个孔的第一子集。MEMS装置可以包括第二多个电极，所述第二多个电极联接到第一支撑层并且部分地延伸到所述多个孔的第二子集中。MEMS装置可以包括第三多个电极，所述第三多个电极联接到所述第二支撑层并且部分地延伸到所述多个孔的第三子集中。
具有电极电介质 mems 装置

[发明专利]具有电极和电介质的MEMS装置-CN202111454000.5在审
发明人： P·V·洛佩特;M·佩德森 -专利权人：美商楼氏电子有限公司
申请日： 2021-12-01 - 公布日： 2022-06-07 - 主分类号： B81B7/02 文献下载
摘要：本公开涉及具有电极和电介质的MEMS装置。MEMS装置的第一电极可以沿轴线并平行于该轴线纵向定向，并且可以具有第一端和第二端。第二电极可以沿轴线并平行于该轴线纵向定向，并且可以具有第一端和第二端。第三电极可以沿轴线并平行于该轴线纵向定向，并且可以具有第一端和第二端。第一电极、第二电极和第三电极可以各自至少部分地位于可以围绕第二电极的第二端和第三电极的第一端的固体电介质的多个孔中的一个孔内。第二电极的第一端和第三电极的第二端可以位于固体电介质的外部。
具有电极电介质 mems 装置

[发明专利]麦克风及用于该麦克风的控制电路-CN201980029967.3有效
发明人： M·纳瓦扎;S·舒伯姆;D·谢弗;M·佩德森;C·弗斯特;M·沙扬;J·切赫 -专利权人：美商楼氏电子有限公司
申请日： 2019-03-20 - 公布日： 2022-06-03 - 主分类号： H04R19/04 文献下载
摘要：本申请提供一种麦克风及用于该麦克风的控制电路。麦克风包括限定了腔的壳体、被定位在腔内的多个导体、被定位在腔内的至少一个电介质棒以及换能器振膜。导体被构造成在壳体保持固定的同时响应于压力变化而移动。第一导体响应于由大气压变化引起的压力变化而生成第一电信号。第二导体响应于由声活动引起的压力变化而生成第二电信号。电介质棒相对于腔是固定的，并且在压力变化下保持固定。电介质棒与导体中的至少一个导体相邻。响应于为大气压和/或声压的作用压力，换能器振膜在壳体上施加力，并且使导体的至少一部分相对于电介质棒移位。
麦克风用于控制电路

[发明专利]声传感器及其电路-CN202111226307.X在审
发明人： S·德克特;S·克拉多克;M·佩德森 -专利权人：美商楼氏电子有限公司
申请日： 2021-10-21 - 公布日： 2022-05-13 - 主分类号： H04R19/04 文献下载
摘要：本公开涉及声传感器及其电路。一种产生表示声信号的电信号的声传感器组件包括：设置在壳体中并且采用声学方式的声换能元件，在通电时引起壳体内的空气压力变化的热源，以及电路，该电路电联接至声换能元件和壳体的外部设备界面上的触点，其中，该电路被配置成给热源通电并基于由声换能元件检测到的空气压力变化的幅度来确定非声学状况或其变化。
传感器及其电路

[发明专利]响应于声学信号来生成电信号的声学换能器和麦克风组件-CN201980065534.3有效
发明人： M·昆特兹曼;M·佩德森;桑·博克·李;余兵;V·纳德瑞恩;彼得·洛佩特 -专利权人：美商楼氏电子有限公司
申请日： 2019-10-04 - 公布日： 2022-05-03 - 主分类号： H04R19/00 文献下载
摘要：一种响应于声学信号来生成电信号的声学换能器和麦克风组件，该声学换能器包括第一振膜，在该第一振膜中形成有第一皱纹。在第二振膜中形成有第二皱纹，并且第二振膜与第一振膜间隔开，使得在第二振膜与第一振膜之间形成空腔，该空腔的压力低于大气压。在第一振膜与第二振膜之间设置有背板。一个或更多个支柱从第一振膜和第二振膜中的至少一个振膜起朝着另一振膜延伸穿过背板。所述一个或更多个支柱防止第一振膜和第二振膜中的各个振膜因第一振膜和/或第二振膜朝着背板移动而接触到背板。第一皱纹和第二皱纹中的各个皱纹远离背板，分别从第一振膜和第二振膜起向外突出。
响应声学信号生成电信号换能器麦克风组件

[发明专利]MEMS换能器、MEMS器件和麦克风组件-CN202011103002.5有效
发明人： V·纳德瑞恩;M·佩德森;彼得·洛佩特 -专利权人：美商楼氏电子有限公司
申请日： 2020-10-15 - 公布日： 2022-04-19 - 主分类号： H04R19/04 文献下载
摘要：本公开涉及MEMS换能器、MEMS器件和麦克风组件。一种MEMS换能器，该MEMS换能器包括换能器基板、对电极以及振膜。对电极联接至换能器基板。振膜大致平行于对电极定向，并且与对电极间隔开以形成间隙。MEMS换能器的后腔容积是位于对电极与振膜之间的封闭容积。在MEMS换能器的音频频带的上限处，对电极与振膜之间的间隙的高度小于后腔容积内的热边界层厚度的两倍。
mems 换能器器件麦克风组件

[发明专利]换能器组件故障检测-CN201880083691.2有效
发明人：彼得·洛佩特;V·钱德拉塞克兰;D·巴里;M·佩德森;D·巴迪洛 -专利权人：美商楼氏电子有限公司
申请日： 2018-12-26 - 公布日： 2022-02-18 - 主分类号： H04R19/04 文献下载
摘要：一种微机电系统(MEMS)换能器组件，该MEMS换能器组件包括：换能器，该换能器包括电容麦克风；集成电路，该集成电路电连接至换能器以接收来自换能器的输出电压，其中，集成电路包括测试信号发生器，该测试信号发生器被构造为在换能器中引发测试声响应；以及评估电路，该评估电路被构造为将测试声响应与基线声响应进行比较，以识别换能器中的故障。
换能器组件故障检测

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