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[发明专利]在线端的自对准顶部过孔形成-CN202080069804.0在审
发明人： A.杜塔;J.阿诺德;D.梅特兹勒 -专利权人：国际商业机器公司
申请日： 2020-09-24 - 公布日： 2022-05-13 - 主分类号： H01L21/768 文献下载
摘要：一种在线端处形成自对准过孔(2302、2402)的方法，包括：图案化偶数/奇数金属线(202、302)，包括使用第一/第二硬掩模(102、104)；使用切割掩模(402、1102)切割硬掩模(102、104)和选定金属线(202、302)，偶数或奇数的，所述切割掩模具有窗口(404)，所述窗口在选定金属线(202、302)的切割区域之上暴露硬掩模(102、104)；扩大所述窗口(404)以暴露所述切割区域的任一侧上的所述硬掩模(102、104)；使用扩大的窗口(1104)选择性地蚀刻所述硬掩模(102、104)，以在所述切割区域内形成T形空腔(902、1502)；用间隙填充电介质(2002)填充所述T形腔(902、1502)；去除所述硬掩模(102、104)；以及使所述金属线凹陷(202、302)，其中所述间隙填充电介质(2002)悬垂于所述选定金属线(202、302)的通过所述凹陷在所述金属线(202、302)的端部处形成所述自对准过孔(2302、2402)的部分。还提供了一种结构。
在线对准顶部形成

[发明专利]在线端部形成自对准顶部通孔-CN202080066459.5在审
发明人： J.阿诺德;A.杜塔;D.梅茨勒;E.A.德西尔瓦 -专利权人：国际商业机器公司
申请日： 2020-08-19 - 公布日： 2022-04-29 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：一种用于制造半导体器件的方法包括：使第一奇数硬掩模和第一偶数硬掩模凹陷，以形成凹陷的奇数和偶数硬掩模；在凹陷的奇数硬掩模上形成第一导电硬掩模，第一导电硬掩模包括第一导电硬掩模材料，在凹陷的偶数硬掩模上形成第二导电硬掩模；以及至少部分地基于第一导电硬掩模和第二导电硬掩模，在对应于第一奇数和偶数导线的线端处形成自对准通孔。
在线形成对准顶部

[发明专利]制备酯的方法以及粘结剂体系-CN201511002176.1有效
发明人： E.格拉特;W.艾歇勒;J.拉格;J.阿诺德;K.切尔文斯基;E.魏瑟尔 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2009-11-25 - 公布日： 2018-11-09 - 主分类号： B22F3/22 文献下载
摘要：本发明涉及通过使由羟基苯甲酸和低级醇所成的酯与脂肪醇进行酯交换反应，制备用于粉末注射成型时所使用的粘结剂体系中的由羟基苯甲酸和脂肪醇所成的酯的方法。其中，脂肪醇和羟基苯甲酸和低级醇所成的酯形成反应混合物并且基本上以等摩尔浓度使用，在羟基苯甲酸和低级醇所成的酯和脂肪醇呈均质熔液的温度下进行酯交换反应。此外，本发明还涉及一种用于粉末注射成型工艺的粘结剂体系，该粘结剂体系的金属粉末含量和/或陶瓷粉末含量为80‑90重量%，聚合的粘结剂组分为1‑19重量%，而且还含有1‑19重量%的按照本发明的方法从羟基苯甲酸和脂肪醇制备的至少一种酯。
制备方法以及粘结体系

[发明专利]用于纤维材料的防油和/或防水整理的组合物-CN201410207027.8有效
发明人： A.富斯;I.雷坦巴彻尔;R.莫尔斯;W.纳斯尔;J.阿诺德 -专利权人：亨茨曼纺织货品（德国）有限责任公司
申请日： 2010-09-22 - 公布日： 2014-08-06 - 主分类号： D06M15/643 文献下载
摘要：本发明公开了用于纤维材料的防油和/或防水整理的组合物。本发明描述了可用于处理纺织材料以给予其防油和/或防水性质的8种含水组合物。所述组合物尤其含有包含全氟烷基(R_F基团)的聚合物，其中55-100％的R_F基团含有6个碳原子。
用于纤维材料防水整理组合