专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]在玻璃中形成高密度孔阵列的方法-CN201180057698.5有效
  • H·D·博克;R·C·伯克特;D·R·哈维;A·M·斯特列利佐夫 - 康宁股份有限公司
  • 2011-11-30 - 2016-10-19 - C03C15/00
  • 提供了一种在玻璃中制造高密度孔阵列的方法,该方法包括以下步骤:提供具有前表面的玻璃片,然后用UV激光束照射玻璃片的前表面,照射的焦点在玻璃片前表面的+/‑100μm内,最优选在玻璃片前表面的+/‑50μm内。对于厚度在0.3‑0.63mm之间的玻璃,聚焦激光的透镜的数值孔径优选在0.1‑0.4的范围内,更优选在0.1‑0.15的范围内,甚至更优选在0.12‑0.13的范围内,从而产生从玻璃片的前表面102延伸进入玻璃片100的开孔,所述开孔的直径在5‑15μm的范围内,长宽比至少为20:1。对于在0.1‑0.3mm范围内的更薄的玻璃,数值孔径优选为0.25‑0.4,更优选为0.25‑0.3,并且激光束优选聚焦在玻璃前表面+/‑30μm内。优选以小于或等于约15kHz的重复频率运行激光。然后可以通过蚀刻来扩大所产生的孔阵列。如果需要的话,可以在蚀刻之前对前表面进行抛光。
  • 玻璃形成高密度阵列方法

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