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[发明专利]控制BPSG膜的回流行为及其制作的器件-CN201610046527.7有效
发明人： J·斯泰恩布伦纳;H·霍弗;H·休特;R·K·乔施;M·卡恩;M·珀尔齐尔;H·舍恩赫尔 -专利权人：英飞凌科技奥地利有限公司
申请日： 2016-01-22 - 公布日： 2019-05-03 - 主分类号： H01L21/316 文献下载
摘要：本发明涉及控制BPSG膜的回流行为及其制作的器件。一种沉积绝缘层的方法包括通过使用处于第一流率的硅源和处于第二流率的掺杂剂源沉积硅酸盐玻璃层而在特征的侧壁之上执行一次沉积。掺杂剂源的流量与硅源的流量的比值是第一比值。方法进一步包括通过增加相对于掺杂剂源的流量的硅源的流量在特征的侧壁之上执行二次沉积。掺杂剂源的流量与硅源的流量的比值是低于第一比值的第二比值，并且在执行二次沉积之后停止硅源的流量。在停止硅源的流量之后执行回流工艺。在回流工艺之后，特征的侧壁之上的硅酸盐玻璃的层的厚度的变化在1％到20％之间。
控制 bpsg 回流行为及其制作器件

[发明专利]RON抗体及其用途-CN200980110217.5无效
发明人： H·休特;V·贝利;E·加伯;C·加弗;S·米克拉斯 -专利权人：拜奥根IDEC马萨诸塞公司
申请日： 2009-01-22 - 公布日： 2011-02-16 - 主分类号： C07K16/28 文献下载
摘要：本发明涉及结合RON(receptor d’origine nantais，MST1R)的抗体及其用途，特别是在癌症的诊断和治疗中的用途。提供了抑制RON介导的促存活和肿瘤增殖途径的特异性抗体、及其变体、片段和衍生物。还提供了阻断配体MSP与RON结合能力的特异性抗体、以及这些抗体的片段、变体和衍生物。本发明还包括编码上述抗体或其片段、变体或衍生物的多核苷酸、以及含有这些多核苷酸的载体和宿主细胞。本发明还包括使用本发明的抗体来诊断和治疗癌症的方法。
ron 抗体及其用途