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[发明专利]用于离子束产生的源组装件-CN201711392093.7有效
发明人： L.范考文;G.N.A.范维恩 -专利权人： FEI公司
申请日： 2017-12-21 - 公布日： 2020-11-13 - 主分类号： H01J37/08 文献下载
摘要：一种用于产生离子束并且包括碰撞离子化离子源的源组装件，该碰撞离子化离子源具有：‑一对堆叠板，其夹在介于中间的缝隙周围；‑在所述板之间的、连接到气体供应导管的离子化空间；‑输入区，其被提供在所述板中的第一个中，以容许带电粒子的输入射束进入到所述离子化空间；‑输出孔，位于所述输入区的对面并且提供在所述板中的第二个中，以允许发射由所述输入射束在所述离子化空间中产生的离子流，该源组装件包括：‑载体，其被提供有多个不同的碰撞离子化离子源，所述多个不同的碰撞离子化离子源关于所述板之间的缝隙高度d而互相不同；‑选择设备，其允许单独地选择所述离子源中的给定一个用于产生所述离子束。所述多个源中的各源优选地具有在1‑500的范围中、优选地在1‑200的范围中的值的散射商QS=d/li，其中li是所述离子化空间中的离子平均自由路径长度。
用于离子束产生组装

[发明专利]用于检查样本材料的微腔-CN201610610133.X有效
发明人： L.梅勒;P.多纳;G.N.A.范维恩 -专利权人： FEI公司
申请日： 2016-07-29 - 公布日： 2019-07-16 - 主分类号： H01J37/20 文献下载
摘要：本发明涉及用于检查样本材料的微腔，当填充微腔时样本材料浸入在液体中，微腔包含：用于盛装样本材料的检查体积（101），检查体积由以下限定：第一刚性层（102A+102B），与第一刚性层间隔开的第二刚性层（103A+103B），以及在第一和第二刚性层之间的气密密封（104），其特征在于，在用带有浸入的样本材料的液体填充检查腔之前：刚性层中至少一个的薄部（105）将检查体积与外面隔离；薄部配备来被刺破；以及检查体积是真空体积，其结果是，带有浸入的样本材料的液体，当被放置到薄部上时，在薄部被刺破时被吸入到检查体积中。这产生可填充样本材料却不需要对其应用真空管的微腔。
用于检查样本材料

[发明专利]扫描类型显微镜中的数学图像组合-CN201510339651.8有效
发明人： P.波托塞克;C.S.库伊曼;H.N.斯林格兰德;G.N.A.范维恩;F.波霍贝 -专利权人： FEI公司
申请日： 2015-06-18 - 公布日： 2018-10-30 - 主分类号： G06T7/00 文献下载
摘要：一种使用扫描类型显微镜累积标本图像的方法,包括以下步骤：‑提供从源导向通过照明器的辐射射束以辐射所述标本；‑提供用于检测响应于所述辐射从所述标本发出的辐射通量的检测器；‑使所述射束经受相对于标本表面的扫描运动，并作为扫描位置的函数记录所述检测器的输出，该方法还包括以下步骤：‑在第一采样时段S₁中，从跨标本稀疏分布的采样点的第一群集P₁采集检测器数据；‑重复这个程序以便累积在采样时段的相关联集合{S_n}期间采集的这种群集的集合{P_n}，每个集合的基数N>1；‑通过使用集合{P_n}作为对综合数学重构程序的输入来组合标本的图像，其中，作为所述组合过程的部分，进行数学配准校正来补偿集合{P_n}的不同成员之间的漂移失配。
扫描类型显微镜中的数学图像组合

[发明专利]用多个射束和多个检测器对样本成像-CN201510132049.7在审
发明人： P.波托塞克;C.S.库伊曼;H.N.斯林格兰德;G.N.A.范维恩;F.博霍贝;J.S.发伯;A.A.S.斯鲁特曼 -专利权人： FEI公司
申请日： 2015-03-25 - 公布日： 2015-09-30 - 主分类号： H01J37/244 文献下载
摘要：用多个射束和多个检测器对样本成像。一种用于用大量聚焦射束来检查或处理样本的多射束装置，该装置被装配成在样本上扫描大量的N个射束，该装置装配有用于检测在所述样本被大量射束照射时由样本发射的二次辐射的大量的M个检测器，检测器中的每个能够输出表示由检测器检测的二次辐射的强度的检测器信号，在工作中，每个检测器信号包括由多个射束引起的信息，由一个射束引起的信息因此遍布多个检测器，该装置装配有可编程控制器，其用于使用加权因数来将大量的检测器信号处理成大量输出信号，使得每个输出信号表示由单个射束引起的信息，其特征在于加权因数是取决于射束相对于检测器的扫描位置以及样本与检测器之间的距离的动态加权因数。
用多个射束检测器样本成像

[发明专利]用于与环境室和电子显微镜协作的固持器组件-CN201310050077.5无效
发明人： H.W.詹德伯根;P.多纳;G.N.A.范维恩 -专利权人： FEI公司;代夫特科技大学
申请日： 2013-02-08 - 公布日： 2013-08-21 - 主分类号： H01J37/26 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于与环境室（101）和电子显微镜协作的固持器组件，环境室呈现流体入口（103），电子显微镜呈现用于使电子显微镜的可抽空部分与电子显微镜的外部分离的真空壁（110），固持器组件包括用于形成与电子显微镜的密封接口的电子显微镜接口，固持器组件包括用于形成与环境室（101）的流体入口（103）的密封对接的环境室接口，并且固持器组件包括用于将流体供给连接到环境室（101）的流体入口（103）的管路（126），特征在于：固持器组件包括第一和第二部分，第一部分能够从第二部分拆卸，第一部分包括管路（126）和环境室接口并且第二部分包括电子显微镜接口，作为结果，第一部分能够在不使第二部分暴露于高温的情况下在所述高温下清洁第一部分。
用于环境电子显微镜协作固持器组件

[发明专利]用于在带电粒子设备中使用的检测器-CN201210233116.0有效
发明人： C.S.库伊曼;G.N.A.范维恩 -专利权人： FEI公司
申请日： 2012-07-06 - 公布日： 2013-01-09 - 主分类号： G01T1/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于检测X射线的辐射检测器，所述检测器包括硅漂移二极管(10,200)，所述硅漂移二极管示出阳极(16,202)和输出端，处于工作中的所述硅漂移二极管响应于单个检测到的光子在所述输出端上产生脉冲，所述输出端被连接到用于测量输出信号的电子电路，其特征在于所述硅漂移二极管包括在I/O端口与所述阳极之间的电压/电流转换器(208)，所述检测器被装备成经由开关(209)选择性地连接模拟反馈回路中的所述电压/电流转换器，作为其结果，所述硅漂移二极管被装备成可切换地工作于脉冲高度测量模式或电流测量模式下。
用于带电粒子设备使用检测器

[发明专利]辐射检测器-CN201110006527.1有效
发明人： G.N.A.范维恩;C.S.库伊曼;L.K.南弗;T.L.M.肖尔特斯;A.萨基克 -专利权人： FEI公司
申请日： 2011-01-13 - 公布日： 2011-07-20 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于制造用于检测例如200eV电子的辐射检测器的工艺。这使得所述检测器适合于例如用在扫描电子显微镜中。本发明致力于将铝栅格形成在硼层上，而不损及硼层。为此，通过下述方式来形成铝栅格：用铝层完全覆盖硼层，并且然后通过刻蚀移除所述铝层的一部分，所述刻蚀包括干法刻蚀的第一步骤（304），所述干法刻蚀的步骤限定栅格，但让所述硼层的一部分上的薄铝层暴露，之后是湿法刻蚀的第二步骤（308），所述湿法刻蚀的步骤从被暴露的硼层的一部分完全移除铝。
辐射检测器

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