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[发明专利]辐射源装置-CN202211657722.5在审
发明人： D·德比;D·图姆波德;A·亚尔迈尔;L·海策尔;K·伊利安;T·迈尔;C·格赫雷玛尼;J·波尔;C·盖斯勒 -专利权人：英飞凌科技股份有限公司
申请日： 2022-12-22 - 公布日： 2023-06-27 - 主分类号： G01N21/01 文献下载
摘要：本公开的实施例涉及一种辐射源装置，其包括至少一个膜层、被配置为发射电磁或红外辐射的辐射源结构、基板和间隔结构，其中基板和至少一个膜形成腔室，其中腔室中的压力为低于或等于腔室外部的压力，其中辐射源结构设置在至少一个膜层和基板之间。
辐射源装置

[发明专利]组合波纹压电传声器和波纹压电振动传感器-CN202111005968.X在审
发明人： C·布雷特豪尔;S·戈斯瓦米;M·F·赫曼;G·洛伦茨;P·米什拉;D·诺伊迈尔;D·图姆波德 -专利权人：英飞凌科技股份有限公司
申请日： 2021-08-30 - 公布日： 2023-01-10 - 主分类号： G01F1/34 文献下载
摘要：本公开涉及组合波纹压电传声器和波纹压电振动传感器。例如，一种组合微机电结构(MEMS)，包括：第一压电隔膜，具有一个或多个第一电极，第一压电隔膜粘附在第一保持部和第二保持部之间；以及第二压电隔膜，具有惯性质量和一个或多个第二电极，第二压电隔膜粘附在第二保持部和第三保持部之间。
组合波纹压电传声器振动传感器

[发明专利]光声气体分析仪-CN201711482386.4有效
发明人： D·图姆波德;C·格拉策;G·奥纳兰 -专利权人：英飞凌科技股份有限公司
申请日： 2017-12-29 - 公布日： 2022-10-04 - 主分类号： G01N21/17 文献下载
摘要：一种光声气体分析仪可以包括：气体腔室，被配置为将待分析气体接纳在其中；辐射源，被配置为向所述气体腔室中发射具有时变强度的电磁辐射，从而生成声波，所述电磁辐射被适配为选择性地激发在被接纳在气体腔室中的气体中的浓度待确定的N种相互不同的气体类型的气体分子；声波传感器，被配置为检测由辐射源向待分析气体中发射的电磁辐射生成的声波；以及控制单元，操作地连接到辐射源和声波传感器。控制单元可以被配置为：控制辐射源发射具有时变强度的电磁辐射，并且利用调制信号来调制强度变化的频率，调制信号取至少N个相互不同的值；从声波传感器接收指示由辐射源向待分析气体中发射的电磁辐射生成的检测到的声波的信号；确定与相应的N个相互不同的频率相关联的至少N个相互不同的信号幅度，发射的电磁辐射的强度以相应的N个相互不同的频率变化；并且根据所确定的信号幅度来确定N种相互不同的气体类型的浓度。
声气分析

[发明专利]传感器装置和用于测试传感器装置的方法-CN201810758364.4有效
发明人： D·图姆波德 -专利权人：英飞凌科技股份有限公司
申请日： 2018-07-11 - 公布日： 2022-01-28 - 主分类号： G01L27/00 文献下载
摘要：一种传感器装置，包括：压力转换器，与具有流体的体积区域处于流体连通，其中，所述压力转换器被构造成响应于所述体积区域中的压力变化而输出压力信号，所述压力信号具有取决于所述压力变化的信号变化曲线；加热元件，所述加热元件被构造成引起位于所述体积区域中的流体的被限定的温度变化，其中，所述流体的温度变化引起所述体积区域中的压力变化；以及处理设备，所述处理设备被构造成基于所述压力信号的信号变化曲线来获取所述压力转换器的当前功能参数，所述信号变化曲线是在由所述加热元件引起的所述体积区域中的温度变化下获得的。
传感器装置用于测试方法

[发明专利]组合式波纹状压电麦克风和波纹状压电振动传感器-CN202110636907.7在审
发明人： C·布雷特豪尔;P·米什拉;D·诺伊迈尔;D·图姆波德 -专利权人：英飞凌科技股份有限公司
申请日： 2021-06-08 - 公布日： 2021-12-10 - 主分类号： G01H11/08 文献下载
摘要：本公开的各实施例涉及组合式波纹状压电麦克风和波纹状压电振动传感器。组合式微机电结构(MEMS)包括具有一个或多个第一电极的第一压电膜，第一压电膜被固定在第一保持件与第二保持件之间；以及具有惯性质量和一个或多个第二电极的第二压电膜，第二压电膜被固定在第二保持件与第三保持件之间。
组合式波纹压电麦克风振动传感器

[发明专利]流体传感器-CN202110489972.1在审
发明人： D·图姆波德 -专利权人：英飞凌科技股份有限公司
申请日： 2021-05-06 - 公布日： 2021-11-09 - 主分类号： G01N25/00 文献下载
摘要：本公开的各实施例总体上涉及流体传感器。流体传感器(10)包括：壳体结构(12)，形成腔室(14)；IR发射器(18)，被配置用于在腔室(14)中发射IR辐射(20)，其中IR辐射(20)具有中心波长(λ0)，以用于提供IR辐射(20)与目标流体(FT)的相互作用，该相互作用导致腔室(14)中或壳体结构(12)中的温度变化(ΔT)，该温度变化(ΔT)影响壳体结构(12)中的机械脉冲(22)；以及惯性检测传感器(24)，被机械地耦合到壳体结构(12)，以用于感测壳体结构(12)中的机械脉冲。
流体传感器

[发明专利]辐射源以及使用该辐射源的气体传感器-CN202110112323.X在审
发明人： D·图姆波德;C·格拉策;S·库巴克基 -专利权人：英飞凌科技股份有限公司
申请日： 2021-01-27 - 公布日： 2021-08-13 - 主分类号： G01N21/17 文献下载
摘要：一种用于将窄带电磁辐射(11)倾斜地发射到腔体(12)中的辐射源(10)，包括：发射器结构(14)，该发射器结构(14)具有用于发射窄带电磁辐射(11)的主辐射发射区域(14‑1)，其中发射器结构(14)光学耦合到腔体(12)；以及层元件(18)，该层元件(18)耦合到发射器结构(14)的主辐射发射区域(14‑1)，其中该层元件(18)包括辐射偏转(畸变)结构(20)，该辐射偏转(畸变)结构被配置为用于相对于发射器结构(14)的主辐射发射区域(14‑1)的表面法线偏转发射器结构(14)的辐射发射特征。
辐射源以及使用气体传感器

[发明专利]具有穿孔膜的微机械设备-CN202110022990.9在审
发明人： A·G·奥纳兰;D·图姆波德 -专利权人：英飞凌科技股份有限公司
申请日： 2021-01-08 - 公布日： 2021-07-20 - 主分类号： G01N21/17 文献下载
摘要：根据本公开的各实施例涉及具有穿孔膜的微机械设备。本公开涉及一种微机械设备(100)和一种用于制造该微机械设备的方法。微机械设备(100)可以包括悬置在衬底(102)上的膜结构(110)。膜结构(110)可以包括气体可渗透的穿孔膜(120)以及加强结构(140)，该穿孔膜包括多个穿孔(130)，该加强结构与穿孔膜(120)耦合，以用于使穿孔膜(120)变硬和/或用于增加穿孔膜(120)的机械稳定性，以减弱穿孔膜(120)的振动。
具有穿孔微机设备

[发明专利]光声气体检测器-CN201711012378.3有效
发明人： D·图姆波德;A·德厄;C·格拉策 -专利权人：英飞凌科技股份有限公司
申请日： 2017-10-26 - 公布日： 2021-03-12 - 主分类号： G01N29/02 文献下载
摘要：一种光声气体检测器可以包括：气室，被配置为将待分析气体接纳在其中；激励元件，被配置为以时变方式选择性地激励气室中接纳的气体中的待检测的特定类型的气体分子，由此生成压力差；传感器，被配置为检测由激励元件生成的压力差；以及泵，被配置为在光声气体检测器的外部与气室之间泵送气体。
声气体检

[发明专利]气体分析器-CN201711316753.3有效
发明人： C·格拉策;A·德厄;G·奥纳兰;D·图姆波德 -专利权人：英飞凌科技股份有限公司
申请日： 2017-12-12 - 公布日： 2021-03-09 - 主分类号： G01N21/17 文献下载
摘要：气体分析器可以包括：气体室，被配置为接收在其中待分析的气体；辐射源，被配置为将电磁辐射发射到气体室中，该电磁辐射适于选择性地激励在气体室中接收的气体中待检测的特定类型的气体分子；准直器，被配置为对由辐射源发射的电磁辐射进行准直；以及传感器，被配置为检测指示由辐射源发射的电磁辐射与待分析的气体之间的相互作用程度的物理量。
气体分析器

[发明专利]气体分析装置-CN201711480070.1有效
发明人： A·德厄;C·格拉策;D·图姆波德 -专利权人：英飞凌科技股份有限公司
申请日： 2017-12-29 - 公布日： 2021-03-05 - 主分类号： G01N21/17 文献下载
摘要：气体分析装置，包括：用于容纳待分析气体的气体腔；辐射源，被设置用于将电磁辐射发射到气体腔中，其中电磁辐射被设置用于选择性地激发待分析气体的分子；以及传感器，被设置用于侦测物理参量，物理参量包含关于由辐射源发射的电磁辐射与容纳在气体腔中的气体的相互作用程度的信息，其中辐射源包括：可电加热的扁平的辐射元件，被设置用于发射电磁辐射；以及壳体，具有扁平的第一和第二壳壁，这些壳壁在它们之间限定并直接邻接不透流体地与辐射源的周边环境分离的辐射元件容纳腔，在辐射元件容纳腔中具有比常压小的气压并且辐射元件的至少一个区段与第一和/或第二壳壁间隔布置，其中第一和/或第二壳壁对于从辐射源可发射的电磁辐射是可透射的。
气体分析装置

[发明专利]气体分析仪-CN201710761931.7有效
发明人： C·格拉策;A·德厄;D·图姆波德 -专利权人：英飞凌科技股份有限公司
申请日： 2017-08-30 - 公布日： 2021-01-15 - 主分类号： G01N21/17 文献下载
摘要：提供了一种气体分析仪。气体分析仪可以包括：具有壳体壁的管状壳体，壳体壁沿着管状壳体的轴向方向延伸并且围绕气体腔室，气体腔室被配置为将待分析气体容纳在其中；激发元件，位于管状壳体的第一轴向端部处并且被配置为以时变的方式来选择性地激发被容纳在气体腔室中的气体中的待检测的特定类型的气体分子，从而生成声波；以及传感器，位于管状壳体的第二轴向端部处并且被配置为检测由激发元件生成的声波。
气体分析

[发明专利]光声气体传感器和压力传感器-CN202010561831.1在审
发明人： J·曼兹;C·格拉策;D·图姆波德 -专利权人：英飞凌科技股份有限公司
申请日： 2020-06-18 - 公布日： 2020-12-22 - 主分类号： G01N21/17 文献下载
摘要：一种MEMS光声气体传感器和压力传感器，该光声气体传感器包括第一膜和与第一膜相对且通过感测体积与第一膜隔开的第二膜。MEMS光声气体传感器包括电磁源，并且与感测体积通信以偏转第一膜和第二膜。
声气传感器压力传感器

[发明专利]MEMS气体传感器-CN202010163137.4在审
发明人： D·图姆波德 -专利权人：英飞凌科技股份有限公司
申请日： 2020-03-10 - 公布日： 2020-10-09 - 主分类号： G01N21/17 文献下载
摘要：本公开涉及一种MEMS气体传感器(10)，其尤其包括光声传感器(10)，光声传感器(10)包括热发射器(16)和声换能器(17)，热发射器(16)和声换能器(17)布置在相互测量腔(18)内。热发射器(16)包括半导体衬底(11)和由半导体衬底(11)支撑的加热结构(12)。加热结构(12)包括加热元件(13)。MEMS气体传感器(10)还包括热耦合到加热元件(13)的化学传感器(14)，化学传感器(14)包括气体吸附层(15)。
mems 气体传感器

[发明专利]MEMS传感器、MEMS传感器系统及其制造方法-CN201910395404.8在审
发明人： D·图姆波德;D·迈尔 -专利权人：英飞凌科技股份有限公司
申请日： 2019-05-13 - 公布日： 2019-11-26 - 主分类号： B81B7/00 文献下载
摘要：本公开涉及MEMS传感器，包括传感器壳体和布置在传感器壳体中的膜，其中传感器壳体的第一子容积与膜的第一主侧面相邻，并且传感器壳体的第二子容积与膜的第二主侧面相邻，其中第二主侧面与第一主侧面相对地布置。该MEMS传感器包括传感器壳体中的第一开口，该第一开口将第一子容积与传感器壳体的外部环境透声地连接。该MEMS传感器包括传感器壳体中的第二开口，该第二开口将第二子容积与传感器壳体的外部环境透声地连接。
传感器壳体主侧面开口外部环境地连接透声

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