[发明专利]具有穿孔膜的微机械设备在审
申请号: | 202110022990.9 | 申请日: | 2021-01-08 |
公开(公告)号: | CN113138167A | 公开(公告)日: | 2021-07-20 |
发明(设计)人: | A·G·奥纳兰;D·图姆波德 | 申请(专利权)人: | 英飞凌科技股份有限公司 |
主分类号: | G01N21/17 | 分类号: | G01N21/17 |
代理公司: | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人: | 黄倩 |
地址: | 德国诺伊*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 根据本公开的各实施例涉及具有穿孔膜的微机械设备。本公开涉及一种微机械设备(100)和一种用于制造该微机械设备的方法。微机械设备(100)可以包括悬置在衬底(102)上的膜结构(110)。膜结构(110)可以包括气体可渗透的穿孔膜(120)以及加强结构(140),该穿孔膜包括多个穿孔(130),该加强结构与穿孔膜(120)耦合,以用于使穿孔膜(120)变硬和/或用于增加穿孔膜(120)的机械稳定性,以减弱穿孔膜(120)的振动。 | ||
搜索关键词: | 具有 穿孔 微机 设备 | ||
【主权项】:
暂无信息
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