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[发明专利]用于构造空腔的方法以及具有空腔的构件-CN201580032809.5有效
发明人： B·施托伊尔;J·托马斯科;S·平特;D·哈贝雷尔;S·安布鲁斯特 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2015-05-29 - 公布日： 2019-04-19 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本发明涉及在硅衬底内构造空腔的方法，其中，硅衬底的表面相对于第一平面具有倾斜角，第一平面为硅衬底的{111}平面，在硅衬底的表面上布置蚀刻掩模。蚀刻掩模具有伸进掩模开口内的第一前置结构和第一蚀刻开端区域。掩模开口在第一蚀刻开端区域外的其他棱边布置为平行于硅衬底的{111}平面。所述方法包括在确定的蚀刻持续时间内各向异性地蚀刻硅衬底的步骤。朝向硅衬底的<111>方向的蚀刻速率小于朝向其他方向的蚀刻速率，第一前置结构从第一蚀刻开端区域出发朝向第一侧蚀方向侧蚀。蚀刻持续时间这样确定：通过各向异性蚀刻在硅衬底内构造空腔，经过该蚀刻持续时间之后，硅衬底的第一平面露出并构成空腔的底面。
用于构造空腔方法以及具有构件

[发明专利]用于制造微机械部件的方法和微机械部件-CN201510086498.2有效
发明人： D·哈贝雷尔 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2015-02-17 - 公布日： 2018-11-23 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于制造微机械部件的方法以及一种微机械部件。方法包括以下步骤：提供具有第一外表面和第二外表面的衬底，第二外表面背离第一外表面；构造穿过衬底从衬底的第一外表面直到衬底的第二外表面的通孔；在衬底的第二外表面上安装光学功能层，其中，光学功能层遮盖通孔；在衬底的第一外表面处如此移除衬底的第一区段，使得形成相对于衬底的第二外表面倾斜的第三外表面，第三外表面背离衬底的第二外表面，其中，倾斜的第三外表面包围通孔；通过分离衬底的具有通孔的第一部分和光学功能层的安装在第一部分处的第二部分与衬底的剩余部和光学功能层的剩余部来分离微机械部件。
用于制造微机部件方法

[发明专利]用于装配有透明板的晶片的制造方法-CN201510235546.X有效
发明人： S·安布鲁斯特;D·哈贝雷尔;S·平特;J·托马施科;B·施托伊尔 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2015-02-15 - 公布日： 2018-07-10 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于装配有透明板的晶片的制造方法，所述制造方法具有以下步骤：在晶片中构造至少一列通孔，借助机械工具在晶片表面中构造至少一个带状凹部，其中同一列通孔中的每一个部分地与相应分配的带状凹部重叠并且在同一列的两个相邻通孔之间的每一个中间区域中构造有一个不中断的槽，所述不中断的槽的底面以大于0°且小于90°的倾斜角倾斜于晶片表面定向，以及借助由至少一种材料构成的至少一个透明板来覆盖至少一个通孔，所述材料至少对于电磁辐射的一部分频谱而言是穿透的。本发明同样涉及一种用于覆盖罩的制造方法、一种晶片和一种覆盖罩。
透明板通孔带状凹部晶片表面覆盖罩同一列制造晶片装配电磁辐射中断机械工具相邻通孔中间区域穿透的底面频谱种晶分配覆盖

[发明专利]微机械层组件-CN201580030617.0在审
发明人： R·施特劳布;S·平特;D·哈贝雷尔;J·巴德尔;S·安布鲁斯特;R·豪斯纳 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2015-05-29 - 公布日： 2017-02-22 - 主分类号： B81C3/00 文献下载
摘要：一种微机械层组件(100)，其具有：‑至少两个彼此无关地构造的机械的活性的功能层(10、20)，所述功能层(10、20)垂直相叠地布置并且在功能上彼此耦合。
微机组件