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专利名称
农业 化学；冶金 建筑 机械工程 区域搜索
主分类
A 农业
B 作业；运输
C 化学；冶金
D 纺织；造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]带电粒子显微镜中的复合扫描路径-CN201510710006.2有效
  • P.波托塞克;C.S.库吉曼;H-J.德沃斯;H.N.斯林格兰德 - FEI公司
  • 2015-10-28 - 2019-08-23 - H01J37/28
  • 本发明涉及带电粒子显微镜中的复合扫描路径。一种扫描类型带电粒子显微镜，包括：‑样本保持器，用于保持样本；‑源，用于产生带电粒子射束；‑照射器，用于引导所述射束以便辐照所述样本；‑检测器，用于检测响应于所述辐照而从所述样本发射出的辐射通量；‑扫描装置，用于产生所述射束和样本的相对扫描运动以便使射束在所述样本上描绘出扫描路径；‑可编程控制器，其可以被调用来在所述显微镜中执行至少一个自动化程序，其特征在于：‑所述扫描装置包括：▪长行程扫描装置，用于实现相对大幅度和相对低频率的扫描运动；▪短行程扫描装置，用于实现相对小幅度和相对高频率的扫描运动；‑所述控制器可以被调用来描绘出包括相对小幅度的移动的扫描路径，使用所述短行程扫描装置来执行所述相对小幅度的移动，所述相对小幅度的移动组合成得到的相对大幅度的迁移，借助于所述长行程扫描装置来实现所述相对大幅度的迁移。
  • 带电粒子显微镜中的复合扫描路径
  •  1 
  • 共 1 条
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