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专利名称

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申请人
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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]用于化学抛光的系统、装置和方法-CN201780010487.3有效
发明人： B·C·加嘎纳坦;R·巴贾杰 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2017-02-06 - 公布日： 2023-09-12 - 主分类号： H01L21/321 文献下载
摘要：本发明的实施例提供一种使用流体网络平板组件的用于化学抛光基板的系统、装置和方法，所述流体网络平板组件包含：垫，所述垫具有多个流体开口；多个流体通道的网络，每个通道与至少一个流体开口流体地连通；多个入口，每个入口耦合至不同的流体通道；以及出口，所述出口耦合至未耦合至入口的所述流体通道中的一个。公开了多个附加的方面。
用于化学抛光系统装置方法

[发明专利]基板搬运系统-CN202180013672.4在审
发明人： G·S·霍伊;B·C·加嘎纳坦;J·兰加拉简 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2021-04-12 - 公布日： 2022-09-30 - 主分类号： B25J11/00 文献下载
摘要：本文公开了一种用于传递基板的设备。更具体地，设备涉及在半导体元件制造中使用的基板搬运系统，并且更具体地，涉及具有基板搬运器的基板搬运系统，所述基板搬运器具有包封的移动元件和增加的与CMP后清洁模块的相容性。设备包括一个或多个转位组件。转位组件中的每一者包括外壳、在外壳内设置的致动器组件、和在外壳外部设置的两个搬运叶片。两个叶片中的每一者可以以平移或旋转方式中的任一者移动。
搬运系统

[发明专利]非接触式的清洁模块-CN201980050797.7在审
发明人： J·兰加拉简;A·布兰克;E·戈卢博夫斯基;B·C·加嘎纳坦;S·M·苏尼卡;E·米克海利琴科;M·A·安德森;J·P·多明 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2019-08-05 - 公布日： 2021-03-23 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：一种用于清洁晶片的清洁模块包含晶片夹持装置，所述晶片夹持装置被配置为在垂直定向上支撑晶片并且包含接取杯和夹持器组件。接取杯包含具有环形内表面的壁，该环形内表面限定处理区域并且具有成角度部分，所述成角度部分关于晶片夹持装置的中心轴对称。夹持器组件包含第一板组件、第二板组件、多个夹持销、以及多个装载销。夹持销被配置为在清洁工艺期间夹持晶片，并且装载销被配置为在装载和卸载工艺期间夹持晶片。清洁模块进一步包含耦接到喷嘴机构的吹扫臂，所述喷嘴机构被配置为将液体递送到晶片的前侧和背侧。
接触清洁模块

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共 3 条

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