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[发明专利]测试干涉仪的衍射光学元件-CN202080068030.X在审
发明人： A.温克勒;M.谢德;H.M.斯蒂潘;J.赫茨勒;F.埃泽特 -专利权人：卡尔蔡司SMT有限责任公司
申请日： 2020-08-13 - 公布日： 2022-05-13 - 主分类号： G01B11/06 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于测量光学表面(102)的形状的测试干涉仪(100)的衍射光学元件(10)，其包括：衍射形状测量结构(16)，其布置在衍射光学元件的使用表面(14)上并且被配置为当衍射光学元件布置在测试干涉仪中时生成用于照射待测量的光学表面的测试波(122)；以及至少一个测试场(18)，被配置为用于测量定位在测试场内的测试结构的多个轮廓性质，轮廓性质表征相对于使用表面横向延伸的测试结构的轮廓并且包括测试结构的轮廓的侧翼角、测试结构的轮廓深度、和在测试结构的沟槽形状的轮廓的基部区域中出现的微沟槽的深度。测试场布置在使用表面的一个位置处而不是衍射形状测量结构，使得测试场由多个衍射形状测量结构围绕。
测试干涉仪衍射光学元件

[发明专利]EUV投射光刻的照明光学系统-CN201680009975.8有效
发明人： A.温克勒;D.楞次;T.费希尔 -专利权人：卡尔蔡司SMT有限责任公司
申请日： 2016-02-02 - 公布日： 2020-06-02 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种EUV投射光刻的照明光学单元，包括场分面反射镜和光瞳分面反射镜。经由相应的一个照明通道，通过恰好一个场分面和恰好一个光瞳分面(29)在光源与物场之间引导相应使用的照明光部分束(16i)。可用作校正光瞳分面的至少一些光瞳分面(29)布置在照射其上的照明光部分束(16i)的束路径中，使得在像位置处产生光源的像，像位置位于沿着照明通道(16i)距光瞳分面(29)一定距离。用于可用作信号连接至位移致动器(31)的校正场分面的至少一些场分面的受控位移的校正控制装置(32)实施为使得校正场分面的校正位移路径如此之大，使得相应校正照明通道(16i)在边沿由校正光瞳分面(29)切断，使得照明光部分束(16i)不全部从校正光瞳分面(29)传输到物场中。使用照明光学单元，可以执行一种规定在照明光学单元(4)的物场的横向场坐标(x)之上的照明光(16)的最小照明强度的方法。
euv 投射光刻照明光学系统

[发明专利]用于识别至少一株种植在耕地上的植物的方法和信息系统-CN201680063157.6在审
发明人： R-K.察卡罗夫;D.潘格奇克;T.迪佩尔;G.格斯勒;M.赫费林;T.穆格勒;S.富克斯;A.温克勒 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2016-10-07 - 公布日： 2018-06-08 - 主分类号： G06K9/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于识别至少一株种植在耕地（105）上的植物（110a、110b）的方法（300）。该方法（300）包括步骤（310）：借助于光学和/或红外检测单元（120、125、130）来检测植物（110a、110b），以便得到植物图像信息（140），而且检测位置信息（160），所述位置信息表示植物（110a、110b）在耕地（105）中生长的地理位置。该方法（300）还包括步骤（320）：在使用植物图像信息（140）的情况下对植物（110a、110b）进行标识，以便得到表示植物（110a、110b）存在的植物信息（145）。最后，该方法（300）包括步骤（330）：将植物信息（145）和地理位置存储（330）在植物数据组（165）中，以便识别出种植在耕地（105）上的植物（110a、110b）。
耕地植物图像植物信息地理位置种植红外检测单元检测位置信息系统数据组存储生长检测