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[发明专利]具有悬浮结构的半导体传感器及其制造方法-CN201480075003.X有效
发明人： A.萨马劳;A.法伊;G.奥布赖恩;G.亚马;F.普尔克尔 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2014-12-02 - 公布日： 2020-06-23 - 主分类号： G01N27/12 文献下载
摘要：一种半导体气体传感器器件包括衬底、由所述衬底支撑的导电层、非适合种晶层、以及多孔气体感测层部分。所述非适合种晶层由第一材料形成，并包括由所述导电层支撑的第一支撑部分、由所述导电层支撑的第二支撑部分、以及从所述第一支撑部分延伸到所述第二支撑部分且悬浮在所述导电层之上的悬浮种晶部分。所述多孔气体感测层部分由第二材料形成，并直接由所述非适合种晶层与所述导电层电连通地支撑。所述第一材料和所述第二材料形成非适合的材料对。
具有悬浮结构半导体传感器及其制造方法

[发明专利]金属氧化物半导体传感器和使用原子层沉积形成金属氧化物半导体传感器的方法-CN201480059758.0有效
发明人： A.K.萨马劳;G.奥布里恩;A.法伊;F.普克尔;G.雅马 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2014-10-30 - 公布日： 2020-03-17 - 主分类号： H01L27/14 文献下载
摘要：一种半导体传感器设备包括：衬底；非适合晶种层，位于衬底上方；至少一个电极，位于非适合晶种层上方；以及多孔感测层，直接由非适合晶种层支持并且与至少一个电极电通信，多孔感测层定义使用原子层沉积通过在非适合晶种层上的间隔开的成核而形成的多个晶界。
金属氧化物半导体传感器使用原子沉积形成方法

[发明专利]微机械声变换器装置和相应的制造方法-CN201310067550.0有效
发明人： R.埃伦普福特;M.布吕恩德尔;A.格拉赫;C.莱嫩巴赫;S.克尼斯;A.法伊;U.肖尔茨 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2013-03-04 - 公布日： 2019-03-15 - 主分类号： H04R19/00 文献下载
摘要：本发明实现了微机械声变换器装置和相应的制造方法。微机械声变换器装置包括电印制电路板（1），所述印制电路板具有前侧（VS）和背侧（RS）；其中在前侧（VS）上以倒装芯片方法施加有微机械声变换器结构（3）；并且其中印制电路板（1）在微机械声变换器结构（3）的区域中具有用于放射出声波（S）的开口（5）。
微机变换器装置相应制造方法

[发明专利]微机械功能装置、尤其扬声器装置、以及相应的制造方法-CN201210385741.7有效
发明人： R.埃伦普福特;M.布吕恩德尔;A.格拉希;C.莱嫩巴赫;S.克尼斯;A.法伊;U.肖尔茨 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2012-10-12 - 公布日： 2018-10-26 - 主分类号： H04R19/02 文献下载
摘要：本发明提供了微机械功能装置、尤其扬声器装置和相应的制造方法。该功能装置、尤其扬声器装置包含有衬底（5）、至少一个安置在该衬底（1）上的电路芯片（30，31）、其中封装有所述电路芯片（30，31）的包覆封装（15）、微机械功能结构、尤其设置在该包覆封装（15）上具有多个微机械扬声器（9a,9b,9c）的扬声器结构（19）、以及与封装（15）相对地安置在该功能结构、尤其微机械扬声器结构（10）之上的覆盖装置（20）。
微机功能装置尤其扬声器以及相应制造方法

[发明专利]微机电扬声器阵列和用于运行微机电扬声器阵列的方法-CN201210385697.X有效
发明人： A.法伊;S.齐默曼 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2012-10-12 - 公布日： 2018-05-22 - 主分类号： H04R19/02 文献下载
摘要：本发明涉及微机电扬声器阵列（1），具有多个微机电扬声器元件（2），扬声器元件分别具有膜片元件（8），其为了产生声脉冲可从中性位置偏转到至少一个偏转位置；以及激励装置（6），其被设计为根据操控信号将膜片元件（8）从中性位置置于至少一个偏转位置。微机电扬声器阵列包括控制装置（3），其与多个微机电扬声器元件（2）耦合，并且被设计为分别在操控时刻为了通过激励膜片元件（8）产生声脉冲向微机电扬声器元件（2）中的至少一个的激励装置（6）发送第一操控信号，并且为了在该操控时刻之后在预先确定的时间区间期间将膜片元件（8）松弛到中性位置而分别向微机电扬声器元件（2）中的至少一个的激励装置（6）发送第二操控信号。
微机扬声器阵列用于运行方法

[发明专利]具有可移动的门极的微机械传感器装置和相应的制造方法-CN201310420679.5有效
发明人： O.雅科夫莱夫;A.布曼;A.法伊 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2013-09-16 - 公布日： 2017-05-24 - 主分类号： B81B7/00 文献下载
摘要：本发明实现了一种具有移动的门极的微机械传感器装置和一种相应的制造方法。所述具有移动的门极的微机械传感器装置具有场效应晶体管，所述场效应晶体管具有漏极区域（3）、源极区域（4）、位于两者之间的带有第一掺杂类型的通道区域（7）以及可移动的门极（1），所述可移动的门极通过一间隙（Z）与所述通道区域（7）分隔开。所述漏极区域（3）、源极区域（4）和通道区域（7）布置在基体（2）中。在所述基体（2）中，至少在所述通道区域（7）的纵向侧面（S1、S2）上设有氧化区域（8；8a、8b）中。
具有移动微机传感器装置相应制造方法

[发明专利]具有可移动的栅的微机械的传感器装置和相应的制造方法-CN201280047161.5在审
发明人： A.法伊 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2012-08-15 - 公布日： 2014-05-28 - 主分类号： G01P15/08 文献下载
摘要：本发明涉及一种具有可移动的栅的微机械的传感器装置和一种相应的制造方法。具有可移动的栅的传感器装置包括具有可移动的栅(7)的场效应晶体管(2)，可移动的栅通过空腔(11)与信道区(K)分开，其中，信道区(K)用栅隔离层(3)覆盖。
具有移动微机传感器装置相应制造方法

[发明专利]校正装置、传感器和方法-CN201310288330.0在审
发明人： A.布曼;F.亨里西;A.法伊 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2013-07-10 - 公布日： 2014-01-29 - 主分类号： G01P21/00 文献下载
摘要：本发明公开了用于传感器的、尤其是具有运动栅电极的加速度传感器的一种校正装置，具有至少一个电流测量装置，具有可调电压源，该电压源与该传感器的传感器元件电气耦合，具有控制装置，该控制装置被构造用于调节该电压源，使得在该传感器元件上的电压具有至少三个不同的电压值，其中该电流测量装置被构造用于在借助该可调电压源所调节的每个电压时测量流过该传感器元件的测量电流和/或相应传感器元件的基本电流；以及具有补偿装置，该补偿装置被构造用于基于所测量的电流和对应调节的电压来确定该传感器的敏感性和/或偏移，并对应于所确定的敏感性和/或所确定的偏移来匹配该传感器的输出信号。本发明还公开了一种传感器和一种方法。
校正装置传感器方法

[发明专利]微机械功能装置、尤其扬声器装置、以及相应的制造方法-CN201210470864.0在审
发明人： R.埃伦普福特;M.布吕恩德尔;A.格拉希;C.莱嫩巴赫;S.克尼斯;A.法伊;U.肖尔茨 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2012-11-20 - 公布日： 2013-06-05 - 主分类号： B81B7/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种微机械功能装置、尤其扬声器装置和一种相应的制造方法。该功能装置、尤其扬声器装置包含有一个具有上侧（O）和下侧（U）的衬底（5；5`）、至少一个安置在该第一孔穴（K`）中底侧（U）上的电路芯片（30）、安置在第二孔穴（K）中在上侧（O）上的具有多个微机械扬声器（9a,9b,9c）的微机械功能结构、尤其扬声器结构（10）、以及设置在该微机械功能结构、尤其扬声器结构（10）上侧（O）的覆盖装置（20）。
微机功能装置尤其扬声器以及相应制造方法

[发明专利]MEMS芯片封装以及用于制造MEMS芯片封装的方法-CN201210473930.X有效
发明人： R.埃伦普福特;M.布吕恩德尔;A.格拉赫;C.莱南巴赫;S.克尼斯;A.法伊;U.朔尔茨 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2012-11-21 - 公布日： 2013-06-05 - 主分类号： B81B7/00 文献下载
摘要：本发明涉及MEMS芯片封装以及用于制造MEMS芯片封装的方法，该MEMS芯片封装具有：第一芯片，该第一芯片具有第一和第二芯片表面；第二芯片，该第二芯片具有第一和第二芯片表面；第一耦合元件，该第一耦合元件把该第二芯片的第一芯片表面与该第一芯片的第一芯片表面相耦合，使得在该第一与第二芯片之间形成第一空腔；第一布线层，该第一布线层设计用于提供至衬底的连接，这两个芯片之一具有至少一个微机电结构元件、框架元件，其中该框架元件包围了该微机电结构元件。相应另一芯片具有浇注材料层、嵌入该浇注材料层中的控制电路以及在该第一芯片表面所施加的第三布线层，其中该控制电路构造用于控制至少一个微机电结构元件。
mems 芯片封装以及用于制造方法

[发明专利]用于制造压阻的传感器装置的方法以及传感器装置-CN201110167456.3有效
发明人： A.法伊 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2011-06-21 - 公布日： 2012-02-01 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于制造用于惯性传感器的压阻的传感器装置（10）的方法，该传感器装置具有质量元件（12）、基体部件（14）以及连接该质量元件（12）和基体部件（14）的起到压阻作用的臂（16）。此外，本发明涉及一种相应的压阻的传感器装置（10）以及一种相应的惯性传感器。
用于制造传感器装置方法以及

[发明专利]具有SLID粘结连接的两个衬底的装置和用于制造这种装置的方法-CN200980149068.3无效
发明人： A.特劳特曼;A.法伊 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2009-10-19 - 公布日： 2011-11-16 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种具有第一(5)和第二衬底(10)的装置(1)，其中两个衬底(5，10)借助于SLID(固液相互扩散)粘结连接(15)相互连接。SLID粘结连接(15)包括第一金属材料和第二金属材料，其中SLID粘结连接(15)包括金属间Al/Sn相(15c)。本发明此外还涉及一种用于制造这种装置(1)的方法。
具有 slid 粘结连接两个衬底装置用于制造这种方法

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