专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]自含计量晶片载具系统-CN201710499154.3有效
  • A·贝洛;S·韦特;威廉·约翰·方尼特;T·贝格 - 格罗方德半导体公司
  • 2017-06-27 - 2020-11-24 - H01L21/673
  • 本发明涉及自含计量晶片载具系统,所提供的是一种自含计量晶片载具系统、及半导体晶片的一或多种特性的测量方法。晶片载具系统举例来说,包括:外壳,经组配用于在该自动化材料搬运系统内进行输送,该外壳具有组配成用来在该外壳中支撑半导体晶片的支撑件;以及计量系统,布置于该外壳内,该计量系统可操作成用以测量该晶片的至少一种特性,该计量系统包含感测单元及采可操作方式连接至该感测单元的运算单元。还提供的是本揭露的晶片载具系统内半导体晶片的一或多种特性的测量方法。
  • 计量晶片系统

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