专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]芯片焊接-CN200480018886.7有效
  • A·博伊尔;D·吉伦;M·法尔萨里 - XSIL技术有限公司
  • 2004-07-01 - 2006-08-09 - H01L21/68
  • 本发明公开了一种芯片焊接方法和设备,对通过粘合层12粘合在载体带13上的晶片衬底11进行激光加工以穿过晶片衬底并穿过粘合层,至多在载体带上划线以便形成带有附着单切粘合层的单切的芯片15,而粘合层12与载体带13基本没有分层或基本不产生来自粘合层12的毛刺。载体带13优选地通过紫外线固化,以便从载体带上释放粘合层。单切的芯片被拾取并放置在芯片垫上,粘合层12优选地通过加热固化从而将芯片粘合到芯片垫。
  • 芯片焊接
  • [发明专利]使用活性助气的激光加工-CN200480005971.X有效
  • A·博伊尔 - XSIL技术有限公司
  • 2004-03-03 - 2006-04-05 - H01L21/3065
  • 通过为硅工件提供卤素环境以形成用于激光加工的活性助气,用波长小于0.55微米的激光束4通过激光器2对硅工件5进行加工。该激光束以高于硅的消融阈值的功率密度聚焦在硅工件上,以便使该助气在激光束的焦点或其附近与硅工件反应,从而提高加工速度并且由于加工质量的改进而提高加工好的工件的强度。该发明尤其应用于在六氟化硫(SF6)的存在下切割硅片,从而使所得模具的强度增大。
  • 使用活性激光加工
  • [发明专利]激光加工-CN03814249.X无效
  • A·博伊尔;O·梅甘 - XSIL技术有限公司
  • 2003-04-17 - 2005-08-31 - H01L21/66
  • 基板(30)用一个具有存储激光切割方案文件的相关存储器的程序控制脉冲激光束(35)装置切割。该文件包括了脉冲速率Δt,脉冲能量密度E和脉冲空间重叠中的选定组合来加工基板的一个单层或不同层(31,32,33,34)上不同类型的材料,同时限制了对层的损伤并将加工速率最大化来产生具有预定模片强度和产量的模片。该文件还包含了与用选定组合切穿对应层所必须的扫描次数相关的数据。该基板用选定组合进行切割。惰性气体或活性气体的气体处理装置被提供以在切割之前,之中或之后来防止或引起基板上的化学反应。
  • 激光加工

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