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专利名称
农业 化学；冶金 建筑 机械工程 区域搜索
主分类
A 农业
B 作业；运输
C 化学；冶金
D 纺织；造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]电弧蒸发装置-CN201780007847.4有效
  • 藤井博文;龟泽英明;谷藤信一;白根英树 - 株式会社神户制钢所
  • 2017-01-06 - 2020-09-29 - C23C14/24
  • 本发明提供一种能够长期准确地进行靶材是否存在于规定的位置的检测的电弧蒸发装置。电弧蒸发装置(1)包括：具有远端面(3a)和与其连续地沿轴向延伸的侧面(3b)，通过电弧放电从远端面(3a)起熔解并蒸发的棒状的靶材(3)；电弧电源(8)；让靶材(3)在远端面(3a)前进的输送方向上沿轴向移动的靶材输送部(4)；在靶材(3)的输送方向上的规定的位置，呈可从与输送方向交叉的交叉方向接触于靶材(3)的侧面(3b)的形状的点火杆(6)；让点火杆(6)以从退避位置沿交叉方向进入到靶材(3)被送入的搬送区域的方式移动的旋转致动器(7)，其中，该退避位置是从侧面(3b)向交叉方向离开的位置；以及在点火杆(6)的移动过程中，检测点火杆(6)是否接触于靶材(3)的侧面(3b)的检测部(9)。
  • 电弧蒸发装置
  •  1 
  • 共 1 条
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